特許
J-GLOBAL ID：200903067425618558

感放射線性樹脂組成物

発明者：
岡本 健司

岡本 健司 について

, 
黒川 光雄

黒川 光雄 について


出願人/特許権者：
JSR株式会社

JSR株式会社 について


代理人 (1件)： 和気 操
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-073000
公開番号（公開出願番号）：特開2003-270788
出願日： 2002年03月15日
公開日（公表日）： 2003年09月25日
要約：
【要約】【課題】 放射線に対する透明性が高く、感度、解像度、ドライエッチング耐性、パターン形状等のレジストに要求される基本性能を満たすとともに、レジスト保管時に異物の発生、増加が起こらない。【解決手段】 アルカリ不溶性またはアルカリ難溶性であって酸の作用によりアルカリ易溶性となる酸解離性基含有樹脂と、感放射線性酸発生剤とを含有し、上記酸解離性基含有樹脂は該樹脂中に含まれるモノマーを主成分とする低分子量成分が固形分換算にて上記樹脂全体に対して0.5重量%以下であることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
アルカリ不溶性またはアルカリ難溶性であって酸の作用によりアルカリ易溶性となる酸解離性基含有樹脂と、感放射線性酸発生剤とを含有する感放射線性樹脂組成物であって、前記酸解離性基含有樹脂は該樹脂中に含まれるモノマーを主成分とする低分子量成分が固形分換算にて前記酸解離性基含有樹脂全体に対して0.5重量%以下であることを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/039 601 ,  C08F 20/18 ,  C08F 20/28 ,  G03F 7/004 501 ,  H01L 21/027
FI (5件)：
G03F 7/039 601 ,  C08F 20/18 ,  C08F 20/28 ,  G03F 7/004 501 ,  H01L 21/30 502 R
Fターム (24件)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA09 ,  2H025AB16 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  4J100AL02Q ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100BA11P ,  4J100BC01Q ,  4J100BC53P ,  4J100CA01 ,  4J100CA04 ,  4J100DA38 ,  4J100DA39 ,  4J100JA38
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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