特許
J-GLOBAL ID：200903017680273117
感放射線性組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大島 正孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-228833
公開番号（公開出願番号）：特開2000-066405
出願日： 1995年12月01日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
要約：
【要約】【課題】 紫外線、遠紫外線、X線あるいは荷電子線の如き各種放射線に有効に感応し且つ解像度、パターン形状、PED安定性等の良好な化学増幅型ポジ型レジストとして有用な、感放射線性組成物を提供すること。【解決手段】 (A)酸により開裂し得るt-ブチル基を持つ置換基である-C(=O)-OC(CH3)3を有する化合物、(B)酸により分解し得るアセタール基またはケタール基を持つ置換基を有し且つMw/Mnの比が1〜3である重合体および(C)感放射線性酸発生剤を含有する感放射線性組成物。
請求項（抜粋）：
(A)酸により分解し得るt-ブチル基を持つ置換基を有し且つ該置換基が-C(=O)-OC(CH3)3である重合体、(B)酸により分解し得るアセタール基またはケタール基を有し且つポリスチレン換算重量平均分子量(Mw)/ポリスチレン換算数平均分子量(Mn)の比が1〜3である重合体 および(C)感放射線性酸発生剤を含有する感放射線性組成物。
IPC (6件)：
G03F 7/039 601
, C08L 25/00
, C08L 33/04
, G03F 7/004 501
, G03F 7/004 503
, H01L 21/027
G03F 7/039 601
, C08L 25/00
, C08L 33/04
, G03F 7/004 501
, G03F 7/004 503
, H01L 21/30 502 R
