特許

J-GLOBAL ID：200903067530263447

石英ルツボ

発明者： 渡部 弘行 ,  三瓶 桂子 ,  橋本 尚英 ,  黄 新明 ,  宇田 聡
出願人/特許権者： 株式会社倉元製作所
代理人 (1件)： 西澤 利夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-244479
公開番号（公開出願番号）：特開2005-306708
出願日： 2004年08月24日
公開日（公表日）： 2005年11月04日
要約：

【課題】 シリコン単結晶の単結晶歩留まりを向上させるために、使用中に石英ルツボ内表面からの結晶片の剥離を防止する。【解決手段】 石英ルツボの表面より150μm以内の層に、それより内側層よりシリコン融液との反応性が高い層を形成し、結晶核の生成より溶損速度を速くして、剥離の原因となるブラウンマークの個数を減少させる。具体的にはシリコン融液との反応性が高い内面層は合成石英ガラスであること、またはリチウム、ナトリウム、カリウムなどのアルカリ金属およびベリリウム、マグネシウム、カルシウム、ストロンチウム、バリウムなどのアルカリ土類金属を100ppm以下で含むこととする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

石英ルツボの表面より150μm以内の層に、それよりも内側層よりシリコン融液との反応性が高い層を形成してなるシリコン単結晶引き上げ用石英ルツボ。

IPC (3件)：

C30B29/06 ,  C03B20/00 ,  C30B15/10

FI (4件)：

C30B29/06 502B ,  C03B20/00 F ,  C03B20/00 H ,  C30B15/10

Fターム (8件)：

4G014AH00 ,  4G077AA02 ,  4G077BA04 ,  4G077CF10 ,  4G077EG02 ,  4G077HA12 ,  4G077PD01 ,  4G077PD05

引用特許：

出願人引用 (11件)

• 米国特許第4416680号明細書
  
• 米国特許第6641663号明細書
  
• 特開2003-956783号公報
  
• 米国特許第4632686号明細書
  
• 特開1-148718号公報
  
• 特開平3-17817号公報
  
• 液面振動の少ない半導体シリコン引上げ用ルツボ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-350504   出願人：株式会社楠和クォルツ
• 米国特許第5976247号公報
  
• 特許第3054362号公報
  
• 米国特許第6461427号明細書
  
• 特許第3100836号公報
  

審査官引用 (5件)

• シリコン単結晶引き上げ用石英ルツボとその製造方法および引き上げ方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-208597   出願人：ジャパンスーパークォーツ株式会社
• シリコン単結晶引き上げ用石英ガラスルツボ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-079032   出願人：信越石英株式会社
• 特開昭61-044793
  
• シリコン単結晶製造用ドープ石英ガラスルツボ及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-205637   出願人：ヘリーアスシンエツアメリカ
• シリコン単結晶引き上げ用石英ルツボ及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-347423   出願人：新日本製鐵株式会社