特許
J-GLOBAL ID：200903067638994103

赤外線アレイセンサ

発明者：
中田 嘉昭

中田 嘉昭 について

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岡本 一隆

岡本 一隆 について

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大須賀 直博

大須賀 直博 について


出願人/特許権者：
株式会社堀場製作所

株式会社堀場製作所 について


代理人 (1件)： 藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-275681
公開番号（公開出願番号）：特開2007-085917
出願日： 2005年09月22日
公開日（公表日）： 2007年04月05日
要約：
【課題】 赤外線測定用センサ素子の感度のばらつきを極力小さくすることができるとともに、センサ素子受光面等の破損や傷付きをなくして製品歩留まりを向上することができる赤外線アレイセンサを提供する。 【解決手段】 シリコン基板4の同一平面上に複数個の赤外線測定用センサ素子5が縦横マトリックス状に設けられているとともに、これら赤外線測定用センサ素子5の受光部に対応する位置に赤外線集光孔7を有する集光用ミラー3がシリコン基板4上に対向状態に固定されている赤外線アレイセンサにおいて、シリコン基板4と集光用ミラー3との互いに対向する面間に、径の等しい真球状のガラスビース9を介在させて各センサ素子5と集光用ミラー3との間の間隔tを全域に亘って一様に規定している。 【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
半導体基板の同一平面上に複数個の赤外線測定用センサ素子が縦横マトリックス状に設けられているとともに、これら複数個の赤外線測定用センサ素子の受光部に対応する位置にそれぞれ赤外線集光孔を有する集光用ミラーが前記半導体基板に対向状態に設けられている赤外線アレイセンサにおいて、 前記半導体基板と前記集光用ミラーとの互いに対向する面間に、等しい厚みを有する複数個のスペーサ部材を介在させて前記複数個の赤外線測定用センサ素子と前記集光用ミラーとの間の間隔を全域に亘って一様に規定していることを特徴とする赤外線アレイセンサ。
IPC (8件)：
G01J 1/02 ,  G01J 1/04 ,  G01J 5/08 ,  G01J 5/12 ,  G01J 5/48 ,  H01L 35/32 ,  H01L 27/14 ,  H01L 31/02
FI (11件)：
G01J1/02 H ,  G01J1/02 C ,  G01J1/02 Q ,  G01J1/04 A ,  G01J5/08 Z ,  G01J5/12 ,  G01J5/48 F ,  H01L35/32 A ,  H01L27/14 K ,  H01L27/14 D ,  H01L31/02 B
Fターム (39件)：
2G065AA04 ,  2G065AA11 ,  2G065AB02 ,  2G065BA11 ,  2G065BA12 ,  2G065BA14 ,  2G065BA34 ,  2G065BB11 ,  2G065CA13 ,  2G065DA01 ,  2G066AC05 ,  2G066AC07 ,  2G066AC09 ,  2G066AC13 ,  2G066BA08 ,  2G066BA09 ,  2G066BA25 ,  2G066BB09 ,  2G066CA01 ,  2G066CB03 ,  4M118AA06 ,  4M118AB01 ,  4M118BA05 ,  4M118BA30 ,  4M118CA14 ,  4M118GA09 ,  4M118GA10 ,  4M118GD14 ,  4M118HA20 ,  4M118HA24 ,  5F088BA01 ,  5F088BA10 ,  5F088BA16 ,  5F088BB06 ,  5F088BB07 ,  5F088EA04 ,  5F088JA12 ,  5F088JA20 ,  5F088LA01
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 多素子赤外線センサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-190353   出願人：株式会社堀場製作所
審査官引用 (8件)
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