アモルファスカーボン層の堆積方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川芳樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-171368
公開番号（公開出願番号）：特開2002-194547
出願日： 2001年06月06日
公開日（公表日）： 2002年07月10日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】アモルファスカーボン膜を用いた集積回路の形成方法。【解決手段】炭化水素化合物と不活性ガスを含む混合ガスを熱分解することにより、アモルファスカーボン層が形成される。このアモルファスカーボン膜は集積回路製造工程に適合している。1つの集積回路製造工程では、アモルファスカーボン膜はハードマスクとして使用される。別の集積回路製造工程では、アモルファスカーボン膜は深紫外線(DUV)リソグラフィのための反射防止膜(ARC)である。さらに別の集積回路製造工程では、多層アモルファスカーボン反射防止膜がDUVリソグラフィのために用いられる。

請求項（抜粋）：

基板上にアモルファスカーボン層を形成する方法であって、堆積チャンバ内に基板を配置するステップと、堆積チャンバへ混合ガスを供給するステップであり、該混合ガスには1つ以上の炭化水素化合物及び不活性ガスを含むステップと、混合ガスを加熱して、混合ガス中の1つ以上の炭化水素化合物を熱分解し、基板上にアモルファスカーボン層を形成するステップとを備える方法。

IPC (6件)：

C23C 16/26 , B01J 19/08 , C23C 16/46 , H01L 21/027 , H01L 21/283 , H01L 21/3205

FI (6件)：

C23C 16/26 , B01J 19/08 H , C23C 16/46 , H01L 21/283 D , H01L 21/88 B , H01L 21/30 574

Fターム (82件)：

4G075AA24 , 4G075AA30 , 4G075AA63 , 4G075BA01 , 4G075BC06 , 4G075BC10 , 4G075CA02 , 4G075CA62 , 4G075CA65 , 4G075CA66 , 4G075DA02 , 4G075EB42 , 4G075FB02 , 4K030AA09 , 4K030AA13 , 4K030AA16 , 4K030AA17 , 4K030AA18 , 4K030BA24 , 4K030BA27 , 4K030BB05 , 4K030BB12 , 4K030BB14 , 4K030CA04 , 4K030DA08 , 4K030FA10 , 4K030HA01 , 4K030HA07 , 4K030JA05 , 4K030JA09 , 4K030JA10 , 4K030JA16 , 4K030KA23 , 4K030KA41 , 4K030LA01 , 4K030LA15 , 4M104AA01 , 4M104BB02 , 4M104BB04 , 4M104BB17 , 4M104BB18 , 4M104BB32 , 4M104DD08 , 4M104DD52 , 4M104EE05 , 4M104EE14 , 5F033HH08 , 5F033HH11 , 5F033HH19 , 5F033HH21 , 5F033HH32 , 5F033MM01 , 5F033MM12 , 5F033MM13 , 5F033PP06 , 5F033PP14 , 5F033PP27 , 5F033QQ04 , 5F033QQ09 , 5F033QQ12 , 5F033QQ13 , 5F033QQ28 , 5F033QQ37 , 5F033RR01 , 5F033RR02 , 5F033RR04 , 5F033RR05 , 5F033RR08 , 5F033RR12 , 5F033SS15 , 5F033WW00 , 5F033WW02 , 5F033WW03 , 5F033WW04 , 5F033WW05 , 5F033WW06 , 5F033WW07 , 5F033XX24 , 5F033XX28 , 5F046PA11 , 5F046PA12 , 5F046PA13

引用特許：

審査官引用 (7件)

半導体集積回路装置の微細ホールの形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-190034 出願人：沖電気工業株式会社
反射防止コーティングおよびその形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-149136 出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
基板上にダイアモンド状カーボン・フィルムを付着する方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-296206 出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション

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