感放射線性樹脂組成物

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岩見谷周志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-298079
公開番号（公開出願番号）：特開2004-334156
出願日： 2003年08月22日
公開日（公表日）： 2004年11月25日
要約：

【課題】放射線に対する透明性が高く、感度、解像度、ドライエッチング耐性、パターンプロファイル等に優れ、化学増幅型レジストとして有用な感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 (A)下記一般式(1)〜(6)で表される繰返し単位群から選ばれる少なくとも2種の繰り返し単位を有し、それら繰返し単位の各々の含有量が1〜49mol%であり、かつそれら繰返し単位の合計含有量が5〜50mol%であり、さらに酸の作用によりアルカリ易溶性となるアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の樹脂、および(B)感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】〔一般式(1)〜(6)の各式において、R1は水素原子またはメチル基を示し、R2は炭素数1〜4の置換基を有してもよいアルキル基を示し、R2が複数存在する場合には、それらは同一でも異なっていてもよい。〕【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)下記一般式(1)〜(6)で表される繰返し単位群から選ばれる少なくとも2種の繰り返し単位を有し、それら繰返し単位の各々の含有量が1〜49mol%であり、かつそれら繰返し単位の合計含有量が5〜70mol%であり、さらに酸の作用によりアルカリ易溶性となるアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の樹脂、および (B)感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (4件)：

G03F7/039 , C08F220/18 , G03F7/004 , H01L21/027

FI (4件)：

G03F7/039 601 , C08F220/18 , G03F7/004 503A , H01L21/30 502R

Fターム (49件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA03 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE07 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025CB14 , 2H025CB41 , 2H025CB42 , 2H025CC03 , 2H025FA17 , 4J100AL03R , 4J100AL08P , 4J100AL08Q , 4J100AL08R , 4J100AL09R , 4J100BA03P , 4J100BA03R , 4J100BA04R , 4J100BA11P , 4J100BA11R , 4J100BA15R , 4J100BC02R , 4J100BC03P , 4J100BC03Q , 4J100BC04P , 4J100BC04Q , 4J100BC04R , 4J100BC07P , 4J100BC07Q , 4J100BC08P , 4J100BC08Q , 4J100BC08R , 4J100BC09P , 4J100BC09Q , 4J100BC09R , 4J100BC12R , 4J100BC22R , 4J100BC27R , 4J100BC53P , 4J100BC53R , 4J100CA04 , 4J100CA05 , 4J100FA03 , 4J100JA37

引用特許：

出願人引用 (3件)

特公平2-27660号公報
特開平4-226461号公報
放射線感光材料及びパターン形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-276597 出願人：富士通株式会社

審査官引用 (5件)

レジスト材料及びレジストパターンの形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-162398 出願人：富士通株式会社
化学増幅型ポジ型レジスト組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-238542 出願人：住友化学工業株式会社
ポジ型レジスト組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-044665 出願人：富士写真フイルム株式会社

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