特許
J-GLOBAL ID：200903079821003505
化学増幅型ポジ型レジスト組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
久保山 隆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-238542
公開番号（公開出願番号）：特開2000-137327
出願日： 1999年08月25日
公開日（公表日）： 2000年05月16日
要約：
【要約】【課題】 感度や解像度などの各種レジスト性能が良好であるとともに、基板への接着性に優れる化学増幅型のポジ型レジスト組成物を提供する。【解決手段】 樹脂成分と酸発生剤を含有する化学増幅型ポジ型レジスト組成物であって、その樹脂成分が、(メタ)アクリル酸2-アルキル-2-アダマンチルの重合単位を有し、さらに(メタ)アクリル酸3-ヒドロキシ-1-アダマンチルの重合単位(II)及び/又は(メタ)アクリロニトリルの重合単位(III) を有する組成物、任意にさらに、α-メタクリロイロキシ-γ-ブチロラクトンの重合単位(IV)及び/又は無水マレイン酸の重合単位(V)を有する組成物が提供され、また別に、当該樹脂成分が、メタクリル酸2-エチル-2-アダマンチルの重合単位を有し、さらに(II)〜(V)の一又は複数を有する組成物も提供される。
請求項（抜粋）：
下式(I)(式中 、R1 は水素又はメチルを表し、R2 はアルキルを表す)で示される重合単位を有し、さらに(メタ)アクリル酸3-ヒドロキシ-1-アダマンチル及び(メタ)アクリロニトリルから選ばれるモノマーの重合単位を有する樹脂、並びに酸発生剤を含有することを特徴とする化学増幅型ポジ型レジスト組成物。
IPC (2件)：
G03F 7/039 601
, H01L 21/027
G03F 7/039 601
, H01L 21/30 502 R
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (6件)
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