特許
J-GLOBAL ID：200903068638613122
密閉チャンバの蓋構造
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-151522
公開番号（公開出願番号）：特開平10-326844
出願日： 1997年05月26日
公開日（公表日）： 1998年12月08日
要約：
【要約】【課題】別途昇降機構を必要とせずに、スムーズに天蓋を開閉することのできる密閉チャンバの蓋構造を実現する。【解決手段】密閉チャンバ2の上端開口部に蓋ベース16を固着し、該蓋ベースに少なくとも2つの孔17,18,19を穿設し、該孔を気密に閉塞する蓋体26,28,30を回転可能に設けたことにより、別途昇降機構を必要とせずにスムーズに蓋を開閉することができ、省スペース化と蓋の開閉時間の短縮を可能とし、メンテナンス効率を向上させ、コストを削減させる。
請求項（抜粋）：
密閉チャンバの上端開口部に蓋ベースを固着し、該蓋ベースに少なくとも2つの孔を穿設し、該孔を気密に閉塞する蓋体を回転可能に設けたことを特徴とする密閉チャンバの蓋構造。
IPC (3件)：
H01L 23/02
, C23C 16/50
, G02F 1/13 101
H01L 23/02 F
, C23C 16/50
, G02F 1/13 101
