特許
J-GLOBAL ID：200903068710386470

半導体装置

発明者：
小田 輝夫

小田 輝夫 について


出願人/特許権者：
株式会社デンソー

株式会社デンソー について


代理人 (2件)： 矢作 和行 ,  野々部 泰平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-346565
公開番号（公開出願番号）：特開2008-157742
出願日： 2006年12月22日
公開日（公表日）： 2008年07月10日
要約：
【課題】流量の検出精度を向上することのできる半導体装置を提供する。【解決手段】半導体基板上に少なくとも発熱体が形成されて、流体の流量を検出する流量検出部が構成された半導体装置であって、半導体基板の同一面側に、流量検出部と流体の湿度を検出する湿度検出部とが、湿度検出部が流量検出部よりも上流側となるように、流体の流れ方向に沿って並んで形成されている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
半導体基板上に少なくとも発熱体が形成されて、流体の流量を検出する流量検出部が構成された半導体装置であって、 前記半導体基板の流量検出部形成領域の近傍に、前記流体の湿度を検出する湿度検出部が形成されていることを特徴とする半導体装置。
IPC (2件)：
G01F 1/696 ,  G01N 27/22
FI (2件)：
G01F1/68 201Z ,  G01N27/22 A
Fターム (15件)：
2F035EA05 ,  2F035EA08 ,  2G060AA01 ,  2G060AB02 ,  2G060AE19 ,  2G060AF11 ,  2G060AG10 ,  2G060BA09 ,  2G060BB10 ,  2G060HA02 ,  2G060HC10 ,  2G060HC18 ,  2G060HD03 ,  2G060HE03 ,  2G060JA02
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 特許第3468731号
審査官引用 (7件)
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