特許
J-GLOBAL ID：200903068713570159
分極反転部の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
細田 益稔
, 青木 純雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-177843
公開番号（公開出願番号）：特開2006-003488
出願日： 2004年06月16日
公開日（公表日）： 2006年01月05日
要約：
【課題】電圧印加法によって分極反転部を製造するのに際して、基板の表面から深い位置にまで伸びるような分極反転部を形成する新規な方法を提供する。【解決手段】複数の電極部5と給電部1を有する櫛型電極を用いて、電圧印加法により分極反転部を製造する。各電極部5が、給電部1から延びる基部6と、基部6から分離された複数の導電部5a、5b、5cとを備えており、導電部の平均長さdが4μm以上、9μm以下である。あるいは、各電極部5が、給電部1から延びる基部6と、基部6から分離された複数の導電部5a、5b、5cとを備えており、基部に最も近い導電部5aの長さdaよりも電極部の最先端にある導電部5bの長さdbが小さい。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
単分域化している強誘電体単結晶基板の一表面上に設けられた、複数の電極部と給電部とを有する櫛型電極を用いて、電圧印加法により分極反転部を製造する方法であって、
前記各電極部が、前記給電部から延びる基部と、前記基部から分離された複数の導電部とを備えており、前記導電部の平均長さが4μm以上、9μm以下であることを特徴とする、分極反転部の製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (6件)：
2K002AB12
, 2K002BA01
, 2K002CA03
, 2K002DA01
, 2K002FA27
, 2K002HA20
出願人引用 (1件)
審査官引用 (5件)
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