感放射線樹脂組成物

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：山口巖 , 松崎清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-102991
公開番号（公開出願番号）：特開2009-251538
出願日： 2008年04月11日
公開日（公表日）： 2009年10月29日
要約：

【課題】パターニング性能、特に現像性、耐熱フロー性及び現像密着性に優れた感放射線樹脂組成物を提供する。【解決手段】アルカリ可溶性樹脂(A)、光酸発生剤(B)及び酸性リン酸化合物(C)を含有してなる感放射線樹脂組成物。感放射線樹脂組成物は、架橋剤を更に含有していてもよい。酸性リン酸化合物(C)が1又は2の水酸基を有する化合物であることが好ましい。酸性リン酸化合物(C)がリン酸エステル構造を有するものであることが好ましい。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性樹脂(A)、光酸発生剤(B)及び酸性リン酸化合物(C)を含有してなる感放射線樹脂組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/023 , G03F 7/004 , G03F 7/075 , H01L 21/027

FI (4件)：

G03F7/023 , G03F7/004 501 , G03F7/075 511 , H01L21/30 502R

Fターム (20件)：

2H025AA04 , 2H025AA10 , 2H025AA14 , 2H025AB13 , 2H025AB14 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE01 , 2H025CB08 , 2H025CB13 , 2H025CB14 , 2H025CB16 , 2H025CB33 , 2H025CC01 , 2H025CC04 , 2H025CC17 , 2H025CC20 , 2H025FA17 , 2H025FA29

引用特許：

出願人引用 (3件)

半導体装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-263550 出願人：住友ベークライト株式会社
感光性樹脂組成物、それを用いた半導体装置、表示素子
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-263699 出願人：住友ベークライト株式会社
絶縁膜形成用感放射線性樹脂組成物および絶縁膜の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-253765 出願人：JSR株式会社

審査官引用 (8件)

フオトレジスト組成物及びエツチング方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-016232 出願人：富士写真フイルム株式会社
ポジ型レジスト組成物とそれを用いた微細パターン形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-167530 出願人：富士ハントエレクトロニクステクノロジ-株式会社, 富士写真フイルム株式会社
特開平2-213847

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