特許
J-GLOBAL ID：200903068779052043
基板上の光スイッチの構造体
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-286445
公開番号（公開出願番号）：特開2002-162577
出願日： 2001年09月20日
公開日（公表日）： 2002年06月07日
要約：
【要約】【課題】 反射MEMSミラーを用いた光スイッチが求められている。【解決手段】 光クロスコネクトは、一般的な概念として、MEMSチルトミラーの2次元アレイを使用して第1の光ファイバから入射した光を第2の光ファイバに向ける。2次元アレイの各MEMSチルトミラーは、x及びy軸を中心に回転し、基板に取付けられた複数のサスペンションアームによって吊られている。
請求項（抜粋）：
基板と、それぞれが内部応力勾配層を備え、それぞれが第1の端部及び第2の端部を有し、前記第1の端部が前記基板に取付けられた、複数のサスペンションアームと、反射表面層を有し、前記複数のサスペンションアームの前記第2の端部に取付けられたポリシリコン領域と、前記複数のサスペンションアームに隣接して前記基板上に設けられ、前記反射表面層を有する前記ポリシリコン領域が偏向運動するための電界を生成する、複数の電極と、を備える作動可能なミラー構造体。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (7件)：
2H041AA14
, 2H041AA16
, 2H041AB14
, 2H041AC06
, 2H041AZ02
, 2H041AZ05
, 2H041AZ08
