特許
J-GLOBAL ID：200903069219220842

ポジ型感放射線性樹脂組成物、転写フィルムおよびメッキ造形物の製造方法

発明者：
西川 耕二

西川 耕二 について

, 
森 康介

森 康介 について

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太田 克

太田 克 について

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岩永 伸一郎

岩永 伸一郎 について


出願人/特許権者：
JSR株式会社

JSR株式会社 について


代理人 (4件)： 鈴木 俊一郎 ,  牧村 浩次 ,  高畑 ちより ,  鈴木 亨
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-153987
公開番号（公開出願番号）：特開2006-330368
出願日： 2005年05月26日
公開日（公表日）： 2006年12月07日
要約：
【課題】 基板との密着性に優れ、現像後に開口部に残渣を発生させず、メッキ後のクラック発生を抑制することができるとともに、露光感度を大幅に向上させることができるポジ型感放射線性樹脂組成物、該組成物を用いた転写フィルム、および、バンプや配線などの厚膜のメッキ造形物を精度よく形成することができる製造方法を提供すること。 【解決手段】本発明に係るポジ型感放射線性樹脂組成物は、(A)酸により解離して酸性官能基を生じる酸解離性官能基を有する重合体、(B)放射線の照射により酸を発生する成分、および(C)有機溶媒を含有し、該重合体(A)が、ラジカル重合開始剤として非シアノ系・非アミン系アゾ化合物を用いて合成されたことを特徴とする。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
(A)酸により解離して酸性官能基を生じる酸解離性官能基を有する重合体、 (B)放射線の照射により酸を発生する成分、および (C)有機溶媒 を含有し、 該重合体(A)が、下記一般式(1)で表されるラジカル重合開始剤を用いて合成されたことを特徴とするポジ型感放射線性樹脂組成物。
IPC (6件)：
G03F 7/039 ,  C08F 4/04 ,  C08F 220/00 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/033 ,  H01L 21/027
FI (8件)：
G03F7/039 601 ,  C08F4/04 ,  C08F220/00 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/004 503A ,  G03F7/004 512 ,  G03F7/033 ,  H01L21/30 502R
Fターム (34件)：
2H025AA01 ,  2H025AA04 ,  2H025AA14 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AC03 ,  2H025AD03 ,  2H025BE07 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025BJ10 ,  2H025CB14 ,  2H025CB15 ,  2H025CB17 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45 ,  2H025CB51 ,  2H025CC03 ,  2H025EA08 ,  2H025FA17 ,  2H025FA43 ,  2H025FA47 ,  4J015AA02 ,  4J100AL03Q ,  4J100AL04Q ,  4J100AL05Q ,  4J100AL08P ,  4J100AM21P ,  4J100BA03P ,  4J100BC43P ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100FA03 ,  4J100JA38
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (4件)
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