特許
J-GLOBAL ID：200903069390638545
SPM保守管理方法およびその方法をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
坂上 正明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-143238
公開番号（公開出願番号）：特開2001-324438
出願日： 2000年05月16日
公開日（公表日）： 2001年11月22日
要約：
【要約】【課題】 SPMの探針制御機構の校正や探針の評価を容易に行うためのSPM保守管理方法を提供すること。【解決手段】 既知の周期ピッチを有した標準試料、例えば1マイクロメートル以下等の微小な粒径を有する基準樹脂ボールの集合体をセットし(ステップS101)、その標準試料に対して表面観察データを取得し(ステップS102)、取得した表面観察データから、指定した範囲内(ステップS105)の基準樹脂ボールの周期ピッチを演算した後(ステップS106)、演算した周期ピッチと実際の既知の周期ピッチとが一致しない場合に、そのずれ量に基づいて、試料に対して探針を微動させるアクチュエータのXY平面方向における制御値の補正を行う(ステップS108)。
請求項（抜粋）：
試料を取り付けるステージまたは探針を水平面方向(XY方向)に微動させるSPM(Scanning Probe Microscope)のアクチュエータの制御値を校正するSPM保守管理方法において、既知のサイズの周期ピッチを有する標準試料に対して当該標準試料の表面微細構造の観察データを取得し、取得した観察データから前記標準試料の周期ピッチを導出し、導出した周期ピッチと前記標準試料の既知の周期ピッチとを比較し、比較した結果、導出した周期ピッチと前記標準試料の既知の周期ピッチとが異なる場合に前記アクチュエータの制御値の校正が必要であると判断することを特徴とするSPM保守管理方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 13/10 A
, G01B 21/30
2F069AA60
, 2F069AA66
, 2F069DD30
, 2F069FF00
, 2F069FF07
, 2F069GG01
, 2F069GG04
, 2F069GG06
, 2F069GG07
, 2F069GG62
, 2F069GG72
, 2F069HH02
, 2F069HH04
, 2F069HH30
, 2F069JJ07
, 2F069LL03
, 2F069LL10
, 2F069MM32
, 2F069NN05
, 2F069NN10
, 2F069QQ05
