特許
J-GLOBAL ID：200903069594807087
エッチング用組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-362345
公開番号（公開出願番号）：特開2006-173292
出願日： 2004年12月15日
公開日（公表日）： 2006年06月29日
要約：
【課題】難溶性のハフニウム化合物、特にハフニウムシリケート、ハフニウムアルミネートを選択的にエッチングでき、不燃性のエッチング用組成物を提供する。【解決手段】フッ化物、リン酸、さらに臭化物及び/又は塩化物を含んでなるエッチング用組成物では、酸化ケイ素等の他の半導体材料にダメージを与えることなく、ハフニウムシリケート、窒化ハフニウムシリケート、ハフニウムアルミネート、窒化ハフニウムアルミネートハフニウムシリケート、ハフニウムアルミネート等を選択的にエッチングできるとともに、不燃性である。【選択図】 選択図なし
請求項（抜粋）：
フッ化物、リン酸、さらに臭化物及び/又は塩化物を含んでなるハフニウム化合物のエッチング用組成物。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (2件)：
引用特許：
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