特許
J-GLOBAL ID：200903069627595781

走査型プローブ顕微鏡及びその動作方法

発明者：
小嶋 秀夫

小嶋 秀夫 について


出願人/特許権者：
日本電子株式会社

日本電子株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-142187
公開番号（公開出願番号）：特開2007-047150
出願日： 2006年05月23日
公開日（公表日）： 2007年02月22日
要約：
【課題】 本発明は走査型プローブ顕微鏡及びその動作方法に関し、探針と試料とが接触することを確実に回避することを目的としている。【解決手段】 探針を試料表面に対して相対的に走査し、これにより試料表面の凹凸を測定する走査型プローブ顕微鏡において、それまでに走査した走査ラインにおける試料表面の高さ情報の最高値に対応して高さ方向の走査基準位置を更新するとともに、走査基準位置に対する高さ方向での探針の相対移動の制限値を設定し、当該更新後に次の走査ラインの走査を順次実行する。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
探針を試料表面に対して相対的に走査し、これにより試料表面の凹凸を測定する走査型プローブ顕微鏡において、 それまでに走査した走査ラインにおける試料表面の高さ情報の最高値に対応して高さ方向の走査基準位置を更新するとともに、走査基準位置に対する高さ方向での探針の相対移動の制限値を設定し、当該更新後に次の走査ラインの走査を順次実行することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (2件)：
G01N 13/10 ,  G01B 21/30
FI (2件)：
G01N13/10 C ,  G01B21/30
Fターム (9件)：
2F069AA60 ,  2F069GG04 ,  2F069GG52 ,  2F069GG62 ,  2F069HH30 ,  2F069JJ14 ,  2F069JJ19 ,  2F069LL03 ,  2F069MM34
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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