圧電振動子およびその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：上柳雅誉 , 宮坂一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-046583
公開番号（公開出願番号）：特開2007-325250
出願日： 2007年02月27日
公開日（公表日）： 2007年12月13日
要約：

【課題】より小型の圧電振動子およびその製造方法を得ること。【解決手段】振動片33の片面に形成された第1の励振電極31が振動子基板3の側面の凹部35を介して、第2の励振電極32が形成された面に形成された第3の電極36と電気的に接続されている。したがって、第2の励振電極32が形成された面に第1の励振電極31を集約でき、一つの面での実装を可能にできる。また、スルーホールでなく側面で第1の励振電極31と第3の電極36との電気的接続が行われているので、振動子基板3に貫通用の面積を必要とせず、同じ大きさの振動片33に対して、振動子基板3を小さくできる。その結果、小型の圧電振動子を得ることができる。さらに、第1の励振電極31と第3の電極36との電気的接続が凹部35でなされているので、外部からの接触による断線および放電を少なくできる。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

振動子基板と、前記振動子基板を支持するベース基板と、前記振動子基板のうち、前記ベース基板に対向する面とは逆の面を覆うリッド基板と、前記振動子基板の前記リッド基板に対向する面に形成された第1の励振電極と、前記振動子基板の前記ベース基板に対向する面に形成された第2の励振電極とを備え、前記振動子基板の前記ベース基板に対向する面には、前記振動子基板の側面に形成された凹部によって前記第1の励振電極と電気的に接続されている第3の電極が設けられていることを特徴とする圧電振動子。

IPC (5件)：

H03H 9/19 , H03H 3/02 , H01L 41/09 , H01L 41/22 , H01L 41/18

FI (6件)：

H03H9/19 C , H03H3/02 B , H01L41/08 L , H01L41/08 C , H01L41/22 Z , H01L41/18 101Z

Fターム (18件)：

5J108BB02 , 5J108CC04 , 5J108CC11 , 5J108DD02 , 5J108EE03 , 5J108EE07 , 5J108EE13 , 5J108FF07 , 5J108GG03 , 5J108GG07 , 5J108GG17 , 5J108KK02 , 5J108KK03 , 5J108KK04 , 5J108MM02 , 5J108MM04 , 5J108MM11 , 5J108MM14

引用特許：

出願人引用 (1件)

圧電振動板および圧電振動子
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-260802 出願人：セイコーインスツルメンツ株式会社

審査官引用 (11件)

特開昭57-053125
水晶振動子及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-024558 出願人：セイコーエプソン株式会社
特開昭58-197909

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