特許
J-GLOBAL ID：200903070143386116
ナノカーボンエミッタ及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
平山 一幸
, 篠田 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-112863
公開番号（公開出願番号）：特開2006-294387
出願日： 2005年04月08日
公開日（公表日）： 2006年10月26日
要約：
【課題】 ナノカーボン先端の電界強度を大きくすることができ、従ってナノカーボン特有の優れた高電流密度耐性や高電界耐性を生かすことができるナノカーボンエミッタと、その製造方法を提供する。【解決手段】 基体7と絶縁層8とゲート電極層9とが順次積層され、ゲート電極層9及び絶縁層8を設けた基体7に達する開口部5が設けられ、開口部5内の基体7を開口に向かってメサ形状に突出させたエミッタ下地層6を有し、エミッタ下地層6上にナノカーボン10を有する。エミッタ下地層6の高さを高くすることによって、ナノカーボン10先端の電界強度を大きくする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基体と絶縁層とゲート電極層とが順次積層された積層構造を有し、この積層構造の所定の位置に基体に達する開口部を有し、この開口部内の上記基体上に、ナノカーボンを有するナノカーボンエミッタにおいて、
開口部内の基体を開口に向かってメサ形状に突出させた、エミッタ下地層を有することを特徴とする、ナノカーボンエミッタ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (28件)：
5C127AA01
, 5C127AA04
, 5C127AA05
, 5C127AA20
, 5C127BA09
, 5C127BA15
, 5C127BB05
, 5C127BB07
, 5C127CC03
, 5C127CC10
, 5C127DD09
, 5C127DD56
, 5C127DD79
, 5C127DD99
, 5C127EE02
, 5C127EE07
, 5C127EE12
, 5C127EE15
, 5C135AA09
, 5C135AA15
, 5C135AB05
, 5C135AB07
, 5C135AC03
, 5C135AC28
, 5C135GG02
, 5C135HH02
, 5C135HH12
, 5C135HH15
出願人引用 (3件)
審査官引用 (5件)
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