特許
J-GLOBAL ID：200903070157976021

圧電振動子、温度センサ、及び、温度測定方法

発明者：
町田 雄一

町田 雄一 について


出願人/特許権者：
株式会社福田結晶技術研究所

株式会社福田結晶技術研究所 について


代理人 (1件)： 福森 久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-100787
公開番号（公開出願番号）：特開2009-250843
出願日： 2008年04月08日
公開日（公表日）： 2009年10月29日
要約：
【課題】従来、半導体プロセスの拡散や酸化工程におけるウェハの温度測定には、熱電対が広く用いられていたが、熱電対は、ウェハに直接接触させて温度を測定することができず、ウェハ内、ウェハ間の温度のばらつきを測定できないために、高精度の温度測定ができなかった。【解決手段】圧電振動子とコイルからなる小型温度センサをウェハに直接取り付け、半導体製造装置の外部に配置した送受信装置に対し無線で測定データを送信することにした。ウェハ内、ウェハ間の温度のばらつきを測定することが可能になった。また、圧電振動子の材料にLTGAを用いることにした。1000〜1300°Cの高温領域でも安定に精度の高い温度測定を行うことが可能になった。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
ランタン、ガリウム、及び、アルミニウムのすべての元素を含み、さらに、タンタル、及び/又は、ニオブを含むランガサイト構造を有する酸化物結晶からなる圧電振動子であり、前記圧電振動子を構成する振動板が、外側板と、内側板と、前記外側板と前記内側板を接続する支持部とからなり、前記外側板と前記内側板が、前記内側板の周囲に形成された前記振動板を貫通する溝により、前記支持部を除き、隔てられていることを特徴とする圧電振動子。
IPC (1件)：
G01K 7/32
FI (1件)：
G01K7/32 Z
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (6件)
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