特許
J-GLOBAL ID：200903070220530829

レーザ加工装置により形成される凹部の深さ測定および深さ制御または自動深さ制御

発明者：
クール、ミハエル

クール、ミハエル について

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ヴルバ、ペテル

ヴルバ、ペテル について

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ヒルデブラント、ペテル

ヒルデブラント、ペテル について

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ライザッヘル、マルチン

ライザッヘル、マルチン について


出願人/特許権者：
レーザーテク ゲーエムベーハー

レーザーテク ゲーエムベーハー について


代理人 (1件)： 浅村 皓 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-572630
公開番号（公開出願番号）：特表2002-525620
出願日： 1998年09月30日
公開日（公表日）： 2002年08月13日
要約：
【要約】深さ測定の方法により、較正面上の測定点の深さを測定し、かつ測定値と既知値との差に応じて修正値が使用され、かつ後の修正用に記憶される。凹部を層ごとに製造する方法により、凹部深さzに応じて1つの層Si+1を除去するため、水平方向境界xg,ygが凹部の形状限定に従って決定される。測定値は、連続的に記憶され、レーザ加工装置を後で調整するために使用される。
請求項（抜粋）：
工作物の表面に凹部を形成可能なレーザ加工装置の深さセンサを較正する方法において、 既知形状の較正面上で複数測定点の深さを測定し、 測定値を較正面の各測定点での既知値と比較し、 測定値と既知値との差に応じた修正値を、各座標と一緒に記憶させるか、または各座標に対応する記憶箇所に記憶させることを特徴とする、レーザ加工装置の深さセンサを較正する方法。
IPC (3件)：
G01B 21/18 ,  B23K 26/00 ,  G01B 11/22
FI (3件)：
G01B 21/18 ,  B23K 26/00 M ,  G01B 11/22 Z
Fターム (29件)：
2F065AA25 ,  2F065BB05 ,  2F065DD03 ,  2F065FF09 ,  2F065GG04 ,  2F065JJ25 ,  2F065QQ23 ,  2F069AA43 ,  2F069BB01 ,  2F069BB38 ,  2F069DD19 ,  2F069FF07 ,  2F069GG04 ,  2F069GG07 ,  2F069GG62 ,  2F069GG72 ,  2F069GG73 ,  2F069HH09 ,  2F069JJ07 ,  2F069JJ14 ,  2F069JJ25 ,  2F069KK08 ,  2F069MM14 ,  2F069NN21 ,  2F069NN26 ,  2F069RR09 ,  4E068AD00 ,  4E068CB02 ,  4E068CC06
引用特許：
審査官引用 (3件)

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