薬液弁

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：富澤孝 , 山中郁生 , 岡戸昭佳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-290017
公開番号（公開出願番号）：特開2005-061466
出願日： 2003年08月08日
公開日（公表日）： 2005年03月10日
要約：

【課題】弁体と弁ロッドとの緩みを防止することができる薬液弁を提供すること。【解決手段】高温の薬液が流入する一次側と、高温の薬液が流出する二次側とを連通させる連通路に弁座19を設け、弁座19に当接又は離間する主弁体11と弁ロッド3とをネジ部で連結しており、一次室7と二次室8との圧力変動により弁ロッド3に駆動力を与えて主弁体11を弁座19に当接又は離間させる薬液弁1において、主弁体11と弁ロッド3との間に弾性部材32を配設する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

流体が流入する一次側と、流体が流出する二次側とを連通させる連通路に弁座を設け、前記弁座に当接又は離間する主弁体と弁ロッドとをネジ部で連結しており、駆動手段により前記弁ロッドに駆動力を与えて前記主弁体を前記弁座に当接又は離間させる薬液弁であって、前記主弁体と前記弁ロッドとの間に弾性部材を配設したこと、を特徴とする薬液弁。

IPC (3件)：

F16K31/122 , H01L21/304 , H01L21/306

FI (3件)：

F16K31/122 , H01L21/304 648K , H01L21/306 J

Fターム (10件)：

3H056AA01 , 3H056BB50 , 3H056CA02 , 3H056CB02 , 3H056CD01 , 3H056DD03 , 3H056DD10 , 3H056GG11 , 5F043EE40 , 5F043GG10

引用特許：

出願人引用 (2件)

基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-300860 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
排液弁
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-071636 出願人：シーケーディ株式会社

審査官引用 (6件)

アクチュエータ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-195744 出願人：株式会社ベンカン
排液弁
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-071636 出願人：シーケーディ株式会社
緩み止めねじ
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-182166 出願人：日東精工株式会社

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