特許
J-GLOBAL ID：200903070619999103

ハーフトーン位相シフトマスクの特性補正方法

発明者：
宅島 克宏

宅島 克宏 について


出願人/特許権者：
沖電気工業株式会社

沖電気工業株式会社 について


代理人 (1件)： 中島 淳 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-207537
公開番号（公開出願番号）：特開2001-033938
出願日： 1999年07月22日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
要約：
【要約】【課題】 ハーフトーン位相シフトマスクの透過率及び位相差特性を、所望の透過率及び位相差に補正することができるハーフトーン位相シフトマスクの特性の補正方法を提供する。【解決手段】 測定装置18は、作製されたハーフトーン位相シフトマスク10の透過率を測定して制御装置20へ出力する。制御装置20は、ホルダ22にハーフトーン位相シフトマスク10をセットし、駆動装置24を駆動してヒータ30により所定温度に加熱された溶液26が充填された石英槽28に所定時間浸漬する。これにより、ハーフトーン膜14の膜厚や組成等の特性が変化することにより透過率が変化し、所望の透過率に補正される。ハーフトーン位相シフトマスク10を所定時間浸漬した後は、温純水及び純水によりリンスし、その後IPA乾燥する。
請求項（抜粋）：
基板上にハーフトーン膜が形成されたハーフトーン位相シフトマスクの特性を予め定めた特性にするための酸性溶液の浸漬時間を含む処理条件と、前記ハーフトーン膜の透過率との対応関係を予め定め、前記ハーフトーン膜の透過率を測定し、前記対応関係に基づいて測定した透過率に対応する前記処理条件を求め、求めた処理条件に基づいて、前記ハーフトーン位相シフトマスクの特性が予め定めた特性になるように少なくとも前記ハーフトーン膜を酸性溶液に浸漬するハーフトーン位相シフトマスクの特性補正方法。
IPC (3件)：
G03F 1/08 ,  G03F 7/40 521 ,  H01L 21/027
FI (4件)：
G03F 1/08 A ,  G03F 1/08 S ,  G03F 7/40 521 ,  H01L 21/30 502 P
Fターム (13件)：
2H095BB03 ,  2H095BD02 ,  2H095BD40 ,  2H096AA24 ,  2H096CA05 ,  2H096EA04 ,  2H096EA06 ,  2H096GA01 ,  2H096GA17 ,  2H096HA23 ,  2H096HA30 ,  2H096JA04 ,  2H096LA02
引用特許：
審査官引用 (6件)
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