基板の搬送方法及び処理システム

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：萩原康司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-065121
公開番号（公開出願番号）：特開平11-330190
出願日： 1999年03月11日
公開日（公表日）： 1999年11月30日
要約：

【要約】【課題】処理装置における基板の搬入出に係る時間を短縮し,所定の手順で最後の処理装置に対しては第2のアーム及び第1のアームで基板の搬入出を行う,基板の搬送方法及び処理システムを提供する。【解決手段】搬入出口6a,7a,8a,9a,10a,11aを開閉するシャッタ30を備えた処理装置6,7,8,9,10,11を所定の手順に従ってウェハWを処理できるように配置した洗浄処理部3で,上から順に重ねるように第1のアーム20,第2のアーム21,第3のアーム22を配置した搬送装置3によってウェハWを搬送する搬送方法において,最後の処理装置8へ第2のアーム21によってウェハWを搬入でき,第3のアーム22によってウェハWを搬出できるように,所定の手順に必要な処理装置の数が全部で奇数個の場合と偶数個の場合とでは,搬送装置3の搬送工程を切り換える。

請求項（抜粋）：

基板が取り出されると共に,基板が収納される取出収納部と,基板の搬入出口を開閉する開閉機構を備えた処理装置を所定の手順に従って基板を処理できるように複数配置した処理部との間で,上から順に重ねるように配置された第1のアーム,第2のアーム,第3のアームによって基板を搬送する搬送方法において,所定の手順に必要な処理装置の数が全部で奇数個の場合には,前記第2のアームによって前記取出収納部から基板を取り出し,所定の手順で奇数番目の処理装置へは前記第2のアームによって基板を搬入し,所定の手順で最後の処理装置を除いた奇数番目の処理装置からは第3のアームによって基板を搬出し,所定の手順で偶数番目の処理装置へは前記第3のアームによって基板を搬入し,所定の手順で偶数番目の処理装置からは前記第2のアームによって基板を搬出し,所定の手順で最後の処理装置からは前記第1のアームによって基板を搬出し,前記取出収納部に収納する工程に切り換え,所定の手順に必要な処理装置の数が全部で偶数個の場合には,前記第3のアームによって前記取出収納部から基板を取り出し,所定の手順で奇数番目の処理装置へは前記第3のアームによって基板を搬入し,所定の手順で奇数番目の処理装置からは前記第2のアームによって基板を搬出し,所定の手順で偶数番目の処理装置へは前記第2のアームによって基板を搬入し,所定の手順で最後の処理装置を除いた偶数番目の処理装置からは前記第3のアームによって基板を搬出し,所定の手順で最後の処理装置からは前記第1のアームによって基板を搬出し,前記取出収納部に収納する工程に切り換えることを特徴とする,基板の搬送方法。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , H01L 21/304 648

FI (2件)：

H01L 21/68 A , H01L 21/304 648 A

引用特許：

出願人引用 (5件)

基板搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-077885 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
基板搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-268054 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社
基板搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-337802 出願人：大日本スクリーン製造株式会社

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