特許
J-GLOBAL ID：200903070667297110
交換結合膜およびそれを用いた磁気抵抗効果素子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-234578
公開番号（公開出願番号）：特開2000-068569
出願日： 1998年08月20日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
要約：
【要約】【課題】 耐食性や熱特性に優れるMn合金からなる反強磁性膜の特性を高めることによって、交換結合膜のブロッキング温度や交換結合磁界などの交換結合特性を向上させる。そのような交換結合膜を使用することによって、磁気抵抗効果素子の出力特性や長期信頼性を向上させる。【解決手段】 R-Mn(RはIr、Rh、Pt、Au、Ag、Co、Pd、Ni、Cr、Ge、Ru、ReおよびCuから選ばれる少なくとも 1種の元素)を含み、かつ面心立方晶構造を有する反強磁性合金からなる反強磁性膜3と、これと交換結合された強磁性膜4とを具備する交換結合膜2であって、反強磁性膜3はその (111)面が膜面に平行に成長しており、かつX線回折による (111)ピークのロッキングカーブ半値幅が10.0度以下である。磁気抵抗効果素子、上記した交換結合膜と、この交換結合膜のうち少なくとも強磁性膜に電流を流す電極とを具備する。
請求項（抜粋）：
R-Mn(ただし、RはIr、Rh、Pt、Au、Ag、Co、Pd、Ni、Cr、Ge、Ru、ReおよびCuから選ばれる少なくとも 1種の元素を示す)を含み、かつ少なくとも面心立方晶構造を有する合金を用いた反強磁性膜と、前記反強磁性膜と交換結合された強磁性膜とを具備する交換結合膜において、前記反強磁性膜は、その (111)面が膜面に略平行に成長しており、かつX線回折による (111)ピークのロッキングカーブ半値幅が10.0度以下であることを特徴とする交換結合膜。
IPC (3件)：
H01L 43/08
, G11B 5/39
, H01F 10/32
H01L 43/08 Z
, G11B 5/39
, H01F 10/08 A
5D034BA05
, 5D034BA08
, 5D034CA02
, 5E049AA04
, 5E049AC00
, 5E049AC05
, 5E049BA12
