特許
J-GLOBAL ID:200903070766754353
半導体発光素子
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-431751
公開番号(公開出願番号):特開2005-191326
出願日: 2003年12月26日
公開日(公表日): 2005年07月14日
要約:
【課題】電極にITO層とAl層との積層構造を用いた場合、ITO層とAl膜の界面が加熱されると拡散が生じ、剥離する恐れがあって安定性が得られ難い。また、ITO層とAl膜との界面でオーミック接合を形成し難く、電気的な障壁が生じるため接触抵抗が高くなり、素子の動作電圧が高くなって消費電力、発熱量も大きくなるという問題が生ずる。【解決手段】半導体層に形成する電極を、半導体層からみて、第1の層と、第2の層と、第3の層とを順に有し、前記第1の層は、透光性を有しかつ少なくとも第1の金属を含む金属酸化物からなり、前記第2の層は、透光性を有しかつ少なくとも第1の金属と異なる第2の金属を含む金属酸化物からなり、前記第3の層は、第1の金属および第2の金属と異なる第3の金属を含む。【選択図】図2
請求項(抜粋):
少なくとも第1の電極を備えた第1導電型半導体層上に、表面に第2の電極を備えた第2導電型半導体層を有する半導体発光素子において、
前記第1の電極および/または第2の電極は、半導体層からみて、第1の層と、第2の層と、第3の層とを順に有し、
前記第1の層は、透光性を有しかつ少なくとも第1の金属を含む金属酸化物からなり、
前記第2の層は、透光性を有しかつ少なくとも第1の金属と異なる第2の金属を含む金属酸化物からなり、
前記第3の層は、第1の金属および第2の金属と異なる第3の金属を含む
ことを特徴とする半導体発光素子。
IPC (2件):
FI (3件):
H01L33/00 E
, H01L33/00 C
, H01L21/28 301B
Fターム (13件):
4M104AA04
, 4M104BB36
, 4M104CC01
, 4M104FF13
, 4M104GG04
, 4M104HH15
, 5F041AA04
, 5F041AA25
, 5F041AA44
, 5F041CA40
, 5F041CA88
, 5F041CA92
, 5F041CA98
引用特許:
出願人引用 (6件)
-
III族窒化物半導体発光素子
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-252380
出願人:昭和電工株式会社
-
発光体
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-074206
出願人:ラボ・スフィア株式会社
-
半導体素子およびその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-042117
出願人:株式会社東芝
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審査官引用 (1件)
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