特許
J-GLOBAL ID：200903070904299107

吸引装置およびこれを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法および電気光学装置

発明者：
林 千良

林 千良 について

, 
井内 千恵子

井内 千恵子 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 落合 稔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-224524
公開番号（公開出願番号）：特開2009-056367
出願日： 2007年08月30日
公開日（公表日）： 2009年03月19日
要約：
【課題】同時に吸引処理を行うヘッドキャップの数が変わっても、各ヘッドキャップにおいて同一の吸引圧力で吸引を行うことができる吸引装置を提供する。【解決手段】複数のヘッドキャップ201と、複数のヘッドキャップ201に接続された複数の個別流路225a、および複数の個別流路225aに接続された合流流路225cを有する吸引流路225と、各個別流路225aに介設した複数の流路開閉手段333と、合流流路225cに接続された廃液タンク281と、二次側を廃液タンク281に接続したエジェクタ331と、エジェクタ331の一次側圧力を調整する圧力調整手段334と、圧力調整手段334を制御する制御手段9と、を備え、制御手段9は、複数の流路開閉手段333のうちの開放している流路開閉手段333の開放数に応じて、圧力調整手段334を制御する。【選択図】図9
請求項（抜粋）：
複数の機能液滴吐出ヘッドにより、ワークに描画を行なうインクジェット方式の液滴吐出装置に設けられ、前記各機能液滴吐出ヘッドのノズル面に密接して機能液を吸引する吸引装置であって、 前記複数の機能液滴吐出ヘッドの対応する複数のヘッドキャップと、 上流側を前記複数のヘッドキャップに接続された複数の個別流路、および合流部を介して前記複数の個別流路の下流端に接続された合流流路を有する吸引流路と、 前記各個別流路に介設され、前記各個別流路を開閉する複数の流路開閉手段と、 前記合流流路の下流端が接続され、密閉タンクで構成された廃液タンクと、 一次側に圧縮エアーを導入すると共に二次側を前記廃液タンクの上部空間に接続したエジェクタと、 前記エジェクタの前記一次側圧縮エアーの圧力を調整する圧力調整手段と、 前記圧力調整手段を制御する制御手段と、を備え、 前記制御手段は、前記複数のヘッドキャップにおけるそれぞれの吸引圧力が一定になるように、前記複数の流路開閉手段のうちの開放している前記流路開閉手段の開放数に応じて、前記圧力調整手段を制御することを特徴とする吸引装置。
IPC (4件)：
B05C 11/10 ,  B05C 5/00 ,  H05B 33/10 ,  H01L 51/50
FI (4件)：
B05C11/10 ,  B05C5/00 101 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A
Fターム (25件)：
3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC45 ,  3K107GG08 ,  3K107GG36 ,  4F041AA02 ,  4F041AA05 ,  4F041AB01 ,  4F041BA10 ,  4F041BA13 ,  4F041BA21 ,  4F041BA60 ,  4F042AA02 ,  4F042AA06 ,  4F042AA10 ,  4F042BA06 ,  4F042BA08 ,  4F042BA11 ,  4F042BA19 ,  4F042BA20 ,  4F042CC03 ,  4F042CC08 ,  4F042DB01 ,  4F042DE07 ,  4F042ED09
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (3件)

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