特許
J-GLOBAL ID：200903071458406880
圧電素子、インクジェットヘッド、角速度センサ及びインクジェット式記録装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (10件)：
前田 弘
, 小山 廣毅
, 竹内 宏
, 嶋田 高久
, 竹内 祐二
, 今江 克実
, 藤田 篤史
, 二宮 克也
, 原田 智雄
, 井関 勝守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-059330
公開番号（公開出願番号）：特開2005-333108
出願日： 2005年03月03日
公開日（公表日）： 2005年12月02日
要約：
【課題】 圧電素子において結晶性及び配向性の良好なペロブスカイト型酸化物からなる圧電体層を形成して、この圧電素子の特性ばらつきを低減するとともに、耐電圧及び信頼性を向上させる。【解決手段】 第1の電極層14上に、立方晶系又は正方晶系の配向制御層15を設け、この配向制御層15上に、化学式がPb(AaBb)O3で表されるPb含有複合ペロブスカイト化合物を1モル%以上50モル%以下添加したチタン酸ジルコン酸鉛からなりかつ菱面体晶系又は正方晶系の結晶構造を有する圧電体層16を形成する。この圧電体層16を形成する際に、該圧電体層16の結晶粒を、該圧電体層16の厚み方向に延びかつ長さに対する平均断面径の比が1/50以上1/14以下である柱状粒子とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
第1の電極層と、該第1の電極層上に設けられた配向制御層と、該配向制御層上に設けられた圧電体層と、該圧電体層上に設けられた第2の電極層とを備えた圧電素子であって、
上記配向制御層は、立方晶系又は正方晶系のペロブスカイト型酸化物からなり、
上記圧電体層は、化学式がPb(AaBb)O3で表されるPb含有複合ペロブスカイト化合物を1モル%以上50モル%以下添加したチタン酸ジルコン酸鉛からなっていて、菱面体晶系又は正方晶系の結晶構造を有しており、
上記圧電体層の結晶粒が、該圧電体層の厚み方向に延びかつ長さに対する平均断面径の比が1/50以上1/14以下である柱状粒子とされていることを特徴とする圧電素子。
IPC (9件)：
H01L41/09
, B41J2/045
, B41J2/055
, G01C19/56
, G01P9/04
, H01L41/08
, H01L41/18
, H01L41/187
, H01L41/22
H01L41/08 C
, G01C19/56
, G01P9/04
, B41J3/04 103A
, H01L41/08 J
, H01L41/08 Z
, H01L41/18 101F
, H01L41/18 101Z
, H01L41/22 Z
2C057AF65
, 2C057AG12
, 2C057AG42
, 2C057AG44
, 2C057BA03
, 2C057BA14
, 2F105BB04
, 2F105BB14
, 2F105BB15
, 2F105CC01
, 2F105CD02
, 2F105CD06
