放射線撮像素子

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：中島淳 , 加藤和詳 , 西元勝一 , 福田浩志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-304906
公開番号（公開出願番号）：特開2009-130209
出願日： 2007年11月26日
公開日（公表日）： 2009年06月11日
要約：

【課題】ノイズを効果的に抑制するとともに、高い画質を得ることができる放射線撮像素子を提供する。【解決手段】被写体を透過した放射線に対応した信号電荷を出力するための行列状に配置された放射線センサと該センサからの信号読み出すための電界効果型トランジスタを備えた放射線撮像素子であって、前記電界効果型トランジスタが、少なくとも、ゲート電極、ゲート絶縁膜、活性層、ソース電極及びドレイン電極を有し、前記活性層が少なくとも第1の領域と該第1の領域より電気伝導度が大きい第2の領域とを有し、該第2の領域が前記ゲート絶縁膜と接し、該第2の領域と前記ソース電極及び前記ドレイン電極の少なくとも一方との間に該第1の領域が電気的に接続して配されていることを特徴とする放射線撮像素子。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

被写体を透過した放射線に対応した信号電荷を出力するための行列状に配置された放射線センサと該センサからの信号を読み出すための電界効果型トランジスタを備えた放射線撮像素子であって、前記電界効果型トランジスタが、少なくとも、ゲート電極、ゲート絶縁膜、活性層、ソース電極及びドレイン電極を有し、前記活性層が少なくとも第1の領域と該第1の領域より電気伝導度が大きい第2の領域とを有し、該第2の領域が前記ゲート絶縁膜と接し、該第2の領域と前記ソース電極及び前記ドレイン電極の少なくとも一方との間に該第1の領域が電気的に接続して配されていることを特徴とする放射線撮像素子。

IPC (5件)：

H01L 27/146 , H01L 27/14 , H01L 29/786 , A61B 6/00 , G01T 1/24

FI (7件)：

H01L27/14 C , H01L27/14 K , H01L29/78 618B , H01L29/78 622 , H01L29/78 618E , A61B6/00 300S , G01T1/24

Fターム (43件)：

2G088FF02 , 2G088FF04 , 2G088GG21 , 2G088JJ05 , 2G088KK32 , 4C093AA01 , 4C093CA06 , 4C093CA13 , 4C093EB12 , 4C093EB13 , 4C093EB17 , 4C093EB20 , 4M118AA05 , 4M118AB01 , 4M118BA05 , 4M118CA14 , 4M118CB05 , 4M118FB03 , 4M118FB13 , 4M118FB16 , 4M118FB23 , 4M118FB25 , 4M118GA10 , 5F110AA30 , 5F110BB10 , 5F110CC01 , 5F110CC07 , 5F110DD01 , 5F110DD02 , 5F110EE07 , 5F110EE44 , 5F110EE47 , 5F110FF02 , 5F110FF28 , 5F110GG04 , 5F110GG15 , 5F110GG19 , 5F110GG28 , 5F110GG29 , 5F110GG43 , 5F110HK07 , 5F110HK33 , 5F110NN72

引用特許：

出願人引用 (2件)

放射線検出器
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-331781 出願人：株式会社島津製作所, 山梨電子工業株式会社, 新電元工業株式会社
非晶質酸化物、及び電界効果型トランジスタ
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-325366 出願人：キヤノン株式会社, 国立大学法人東京工業大学

審査官引用 (9件)

可撓性イメージャ及びデジタル画像形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-278693 出願人：ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ
放射線検出器
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-331781 出願人：株式会社島津製作所, 山梨電子工業株式会社, 新電元工業株式会社
薄膜トランジスタとその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-181421 出願人：財団法人工業技術研究院

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