特許
J-GLOBAL ID：200903072373614277
並列アンテナ・トランスフォーマー・カップルド・プラズマ発生システム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大塚 康徳 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-541717
公開番号（公開出願番号）：特表2002-510841
出願日： 1999年03月25日
公開日（公表日）： 2002年04月09日
要約：
【要約】高周波プラズマ結合システムは、プラズマ・リアクタ内部での制御可能であり均一な誘導結合、およびリアクタ内部での単独に制御可能であり均一な容量結合を可能にする。例示的な実施形態によれば、1組の並列結合要素が、プラズマ・チャンバの誘電体窓上に配置され、要素および/または要素間に位置された1組の移相器のこの配置を使用して、要素内部を流れる高周波電流を共通の方向に向かわせる。したがって、要素によって生成される誘導結合フィールドが強まり、リアクタ内部に非常に均一なプラズマを誘導する。さらに、要素の電気的特性は、リアクタ内部の構成要素上でのポリマー・ビルドアップを防止するために、独立に制御可能であり、非常に均一な容量結合を提供することができるようなものである。
請求項（抜粋）：
トランスフォーマー・カップルド・プラズマを発生するための装置であって、 プラズマ反応チャンバ内への電磁界経路を形成する窓、および当該チャンバ内へプロセス・ガスを導入するように構成されたプロセス・ガス供給部を有する当該プラズマ反応チャンバと、 前記チャンバの窓の外側表面に近接して配置された少なくとも2つのアンテナ・セグメントを備える高周波アンテナと、 前記アンテナに結合され、前記アンテナ・セグメント中で高周波電流を共振させるように構成され、該高周波電流によって誘導される電磁界がプロセス・ガスを励起してイオン化し、それにより前記チャンバ内部にプラズマを発生するのに効果的である高周波源と、 第1と第2のアンテナ・セグメントを相互接続し、第1のアンテナ・セグメントにおける高周波電流の瞬間方向が第2のアンテナ・セグメントにおける高周波電流の瞬間方向と実質的に同じになるように前記アンテナ中に高周波電流を分配するように構成された移相器を備える装置。
IPC (3件)：
H05H 1/46
, H01J 37/32
, H01L 21/3065
H05H 1/46 L
, H01J 37/32
, H01L 21/302 B
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (11件)
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