特許
J-GLOBAL ID：200903072464132127

結像光学系、該光学系を有する露光装置、収差低減方法

発明者：
小沼 修

小沼 修 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 藤元 亮輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-104469
公開番号（公開出願番号）：特開2003-303750
出願日： 2002年04月05日
公開日（公表日）： 2003年10月24日
要約：
【要約】【課題】 光学素子の熱変形による光学系全系に発生する収差を効果的に低減させることができる結像光学系、該光学系を有する露光装置、収差低減方法を提供する。【解決手段】 複数の反射素子を有する結像光学系であって、前記複数の反射素子は、第1の熱膨張係数を有する第1の反射素子と、前記第1の熱膨張係数とは異なる第2の熱膨張係数を有する第2の反射素子とを有する結像光学系を提供する。
請求項（抜粋）：
複数の反射素子を有する結像光学系であって、前記複数の反射素子は、第1の熱膨張係数を有する第1の反射素子と、前記第1の熱膨張係数とは異なる第2の熱膨張係数を有する第2の反射素子とを有する結像光学系。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521
FI (3件)：
G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 531 A ,  H01L 21/30 517
Fターム (5件)：
5F046DA13 ,  5F046GA03 ,  5F046GA04 ,  5F046GA14 ,  5F046GB01
引用特許：
審査官引用 (6件)
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