特許
J-GLOBAL ID：200903072491370145
固体表面の評価判定方法及び固体表面の加工方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
池浦 敏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-005719
公開番号（公開出願番号）：特開2001-289630
出願日： 2001年01月12日
公開日（公表日）： 2001年10月19日
要約：
【要約】【課題】 相対評価ではなく、測定条件が変更されても評価判定を容易にすることができる普遍的な固体表面の評価判定方法及び固体表面の加工方法を提供する。【解決手段】 固体表面の断面曲線を水平方向にΔt[μm]の間隔で、N個サンプリングした断面曲線の高さx(t)[μm]のデータ群を測定する工程と、該データ群に対し下式(数1)に従い離散的なフーリエ変換を行い、下式(数2)により導出したパワースペクトルを計算する工程と、計算されたパワースペクトルを、特定の基準値に対比させて固体表面の良否を判定する工程を有することを特徴とする固体表面の評価判定方法。【数1】(ここで、n,mは整数、N=2p、pは整数である)【数2】上記方法により得られた結果に基づき固体表面の加工条件を変化させることを特徴とする固体表面の加工方法。
請求項（抜粋）：
固体表面の断面曲線を水平方向にΔt[μm]の間隔で、N個サンプリングした断面曲線の高さx(t)[μm]のデータ群を測定する工程と、該データ群に対し下式(数1)に従い離散的なフーリエ変換を行い、下式(数2)により導出したパワースペクトルを計算する工程と、計算されたパワースペクトルを、特定の基準値に対比させて固体表面の良否を判定する工程を有することを特徴とする固体表面の評価判定方法。【数1】(ここで、n,mは整数、N=2p、pは整数である)【数2】
IPC (5件)：
G01B 21/30 102
, G03G 5/04
, G03G 5/10
, G03G 5/14
, G03G 21/00
G01B 21/30 102
, G03G 5/04
, G03G 5/10
, G03G 5/14
, G03G 21/00
