発光分光処理装置及びプラズマ処理方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：武顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-049354
公開番号（公開出願番号）：特開2003-287499
出願日： 2002年03月07日
公開日（公表日）： 2003年10月10日
要約：

【要約】【課題】プラズマ処理装置等における分光スペクトルの速い微小変化を再現性よく検知すること。【解決手段】処理装置からの入力光を分光する分光器3と、前記分光した入力光の光量を各波長毎に検出する一連の受光素子を備えた受光部4と、一連の受光素子の内の隣接する一部の受光素子の検出信号をそれぞれ第1の周期で順次保持する第1の信号保持部10と、前記保持した隣接する一部の受光素子の検出信号を含む前記受光部の隣接する受光素子の検出信号を加算する加算部11と、該加算部の加算出力を順次保持する第2の信号保持部12を備え、該第2の信号保持部の出力をもとに前記処理装置の状態を判定する信号処理部9を備えた。

請求項（抜粋）：

処理装置からの入力光を分光する分光器と、前記分光した入力光の光量を各波長毎に検出する一連の受光素子を備えた受光部と、一連の受光素子の内の隣接する一部の受光素子の検出信号をそれぞれ第1の周期で順次保持する第1の信号保持部と、前記保持した隣接する一部の受光素子の検出信号を含む前記受光部の隣接する受光素子の検出信号を加算する加算部と、該加算部の加算出力を順次保持する第2の信号保持部と、該第2の信号保持部の出力をもとに前記処理装置の状態を判定する信号処理部を備えたことを特徴とする発光分光処理装置。

IPC (2件)：

G01N 21/71 , H01L 21/3065

FI (2件)：

G01N 21/71 , H01L 21/302 103

Fターム (23件)：

2G043BA06 , 2G043CA02 , 2G043EA06 , 2G043FA06 , 2G043HA05 , 2G043JA01 , 2G043KA01 , 2G043KA02 , 2G043KA03 , 2G043LA03 , 2G043NA01 , 2G043NA05 , 5F004AA01 , 5F004CB02 , 5F004DA00 , 5F004DA01 , 5F004DA04 , 5F004DA23 , 5F004DB01 , 5F004DB02 , 5F004DB03 , 5F004DB07 , 5F004DB08

引用特許：

審査官引用 (11件)

加工プロセスの終点検出方法およびそれを用いた装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-136432 出願人：株式会社日立製作所
像観察装置及び像観察方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-257660 出願人：株式会社日立製作所, 株式会社日立サイエンスシステムズ
特開昭60-097243

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