特許
J-GLOBAL ID：200903072745079268

試料の表面形状の測定方法及び装置

発明者：
水谷 直樹

水谷 直樹 について


出願人/特許権者：
株式会社アルバック

株式会社アルバック について


代理人 (3件)： 浜野 孝雄 ,  森田 哲二 ,  平井 輝一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-044427
公開番号（公開出願番号）：特開2006-226964
出願日： 2005年02月21日
公開日（公表日）： 2006年08月31日
要約：
【課題】 探針の針圧を低くして被測定試料の変形を避け、しかも探針の走査速度を高くしても上記の問題を解決して正確な測定を比較的短い時間で行うことのできる試料の表面形状の測定方法及び装置を提供する。【解決手段】 探針を被測定試料の表面に接触させて被測定試料の表面形状を測定する方法において、被測定表面上における探針の垂直方向変位に基いて、探針の速度及び加速度の少なくとも一つをリアルタイムでモニターして、探針のとびを検出し、とびを検出したら探針のとびを抑える力を増して表面形状を測定することから成る。また、試料の表面形状の測定装置は、探針の垂直方向の変位を検出する検出手段の出力信号に基き探針のとびを検出すると共に探針のとびの検出に応じて針圧付加手段を制御して探針の針圧を漸減させる制御手段を有する。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
探針を被測定試料の表面に接触させて被測定試料の表面形状を測定する方法において、被測定表面上における探針の変位に基いて、探針の速度及び加速度の少なくとも一つをリアルタイムでモニターして、探針のとびを検出し、とびを検出したら探針のとびを抑える力を増して表面形状を測定することを特徴とする試料の表面形状の測定方法。
IPC (1件)：
G01B 5/20
FI (1件)：
G01B5/20 C
Fターム (24件)：
2F062AA27 ,  2F062AA43 ,  2F062AA62 ,  2F062AA66 ,  2F062BB14 ,  2F062BB15 ,  2F062BC08 ,  2F062BC28 ,  2F062CC07 ,  2F062CC27 ,  2F062EE01 ,  2F062EE62 ,  2F062FF12 ,  2F062FF25 ,  2F062FG07 ,  2F062FG08 ,  2F062GG41 ,  2F062GG51 ,  2F062GG66 ,  2F062HH05 ,  2F062HH14 ,  2F062HH21 ,  2F062JJ02 ,  2F062NN03
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (5件)
  • 変位検出器
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-147672   出願人：株式会社東京精密
  • 触針式プローブ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-276434   出願人：キヤノン株式会社
  • 厚さ検知装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-014690   出願人：株式会社東芝
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