特許
J-GLOBAL ID：200903072932091077

表面疵検査装置

発明者：
山地 宏尚

山地 宏尚 について

, 
小林 尊道

小林 尊道 について

, 
内藤 修治

内藤 修治 について


出願人/特許権者：
新日本製鐵株式会社

新日本製鐵株式会社 について


代理人 (6件)： 青木 篤 ,  石田 敬 ,  古賀 哲次 ,  亀松 宏 ,  永坂 友康 ,  西山 雅也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-062320
公開番号（公開出願番号）：特開2006-242886
出願日： 2005年03月07日
公開日（公表日）： 2006年09月14日
要約：
【課題】 簡略な構成により、製造ライン方向に伸びる線状疵、微小凹凸疵、色調変化疵を検出する疵検査装置を提供する。【解決手段】 帯状体の幅方向に平行な帯状照射面に、水平方向入射角度だけが帯状体の移動方向に対して所定の角度傾いて照射し、検査幅全域に均一の光度を与える照明装置と、帯状体の正常部である地合の散乱、反射光の正反射成分のみを少なくし、微小凹凸形状疵の散乱光による輝度変調を効率良く受光し、かつ製造ライン方向に伸びる線状疵の反射光像に陰影が形成されやすくなる撮像装置を備えることで、凹凸形状疵を検出すると同時に、帯状体移動方向線疵をも精度良く検出する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
移動する帯状体の表面に該表面を横切る帯状光を照射し、前記表面からの反射光を撮像して帯状体の表面の疵を検査する疵検査装置において、 前記帯状光の帯状体面上の照射領域は帯状体の幅方向に平行な帯状であり、前記帯状光の帯状体表面への入射が、帯状体の移動の方向に対して第1の所定値の水平方向入射角度θで、帯状体表面の法線方向に対する垂直方向入射角度αが第2の所定値の角度となる照明装置と、前記帯状体の法線方向に対して前記照明装置と反対側から垂直方向受光角度βで前記照射領域を撮像する撮像装置を備えることを特徴とする疵検査装置。
IPC (1件)：
G01N 21/892
FI (1件)：
G01N21/892 B
Fターム (9件)：
2G051AA37 ,  2G051AB07 ,  2G051BB01 ,  2G051BB05 ,  2G051BB17 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2G051DA06
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (8件)
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