特許
J-GLOBAL ID:200903073163336882
窒化物半導体発光素子及びその製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
豊栖 康弘 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-157646
公開番号(公開出願番号):特開2000-349398
出願日: 1999年06月04日
公開日(公表日): 2000年12月15日
要約:
【要約】【課題】 従来例に比較してさらに出力と素子信頼性の高い窒化物半導体発光素子を提供する。【解決手段】 Inを含む窒化物半導体からなる活性層と、Al<SB>x</SB>Ga<SB>1-x</SB>N(0<x<1)からなりかつ活性層に接して形成されたp型キャップ層とを備えた窒化物半導体発光素子であって、p型キャップ層は、Al<SB>a</SB>Ga<SB>1-a</SB>N(0<a<1)からなり活性層に接して形成された第1のp型窒化物半導体層と、Al<SB>b</SB>Ga<SB>1-b</SB>N(0<b<1)からなり第1のp型窒化物半導体層より結晶欠陥の少ない第2のp型窒化物半導体層とを含んでなり、かつp型キャップ層全体の厚さが10Å以上1000Å以下に設定されている。
請求項(抜粋):
少なくともn型窒化物半導体からなるn型クラッド層、Inを含む窒化物半導体からなる活性層、及びp型窒化物半導体からなるp型クラッド層とを備えた窒化物半導体発光素子において、前記活性層とp型クラッド層との間に、Al<SB>a</SB>Ga<SB>1-a</SB>N(0<a<1)からなりかつ前記p型クラッド層よりエネルギーギャップの大きい第1のp型窒化物半導体層と、Al<SB>b</SB>Ga<SB>1-b</SB>N(0<b<1)からなる第2のp型窒化物半導体層を有することを特徴とする窒化物半導体発光素子。
IPC (3件):
H01S 5/343
, H01L 33/00
, H01S 5/20
FI (3件):
H01S 3/18 677
, H01L 33/00 C
, H01S 3/18 660
Fターム (17件):
5F041CA04
, 5F041CA05
, 5F041CA34
, 5F041CA40
, 5F041CA46
, 5F041CA65
, 5F073AA51
, 5F073AA55
, 5F073AA74
, 5F073AA83
, 5F073CA07
, 5F073CB05
, 5F073CB07
, 5F073CB10
, 5F073DA05
, 5F073DA25
, 5F073EA29
引用特許:
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