特許
J-GLOBAL ID：200903073319588089
アクチュエータ、液滴吐出ヘッド、インクカートリッジ、インクジェット記録装置、マイクロポンプ、光変調デバイス、基板
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
本多 章悟
, 樺山 亨
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-079294
公開番号（公開出願番号）：特開2005-262686
出願日： 2004年03月18日
公開日（公表日）： 2005年09月29日
要約：
【課題】犠牲層プロセスを用いて製造される基板であって、内部に空隙を具備した基板を提供すること。また、静電力で変位する振動板領域(34a)と該振動板領域に第1の空隙(24a)を介して対向する電極を具備し、前記第1の空隙(24a)は犠牲層除去孔(31)を用いた犠牲層プロセスで形成されたものであるアクチュエータにおいて、真空装置を用いることなく、犠牲層除去孔を大気中で封止し、その際、成膜が第1の空隙(24a)内に侵入することを有効に防止して、高精度、高信頼性のアクチュエータおよび該アクチュエータを備えた液滴吐出ヘッド、インクカートリッジ、インクジェット記録装置、マイクロポンプ、光変調デバイスを提供すること。【解決手段】第1の空隙(24a)と犠牲層除去孔(31)近傍の第2の空隙(24b)との間に流体的な抵抗となる障壁(29)を形成した。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
静電力で変位する振動板領域と該振動板領域に第1の空隙を介して対向する電極を具備し、前記第1の空隙は犠牲層除去孔を用いた犠牲層プロセスで形成されたものであるアクチュエータにおいて、
前記第1の空隙と前記犠牲層除去孔近傍の第2の空隙との間に流体的な抵抗となる障壁が形成されていることを特徴とするアクチュータ。
IPC (5件)：
B41J2/045
, B41J2/055
, B41J2/16
, B81B3/00
, G02B26/08
B41J3/04 103A
, B81B3/00
, G02B26/08 E
, B41J3/04 103H
2C057AF93
, 2C057AG12
, 2C057AG29
, 2C057AG54
, 2C057AP02
, 2C057AP33
, 2C057AP35
, 2C057AP53
, 2C057AP57
, 2C057AQ02
, 2C057BA04
, 2C057BA15
, 2H041AA14
, 2H041AA18
, 2H041AB13
, 2H041AB38
, 2H041AC06
, 2H041AZ08
出願人引用 (2件)
審査官引用 (5件)
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