特許
J-GLOBAL ID：200903073397637622
検査結果表示方法、検査結果表示装置及び記録媒体
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中島 淳 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-188852
公開番号（公開出願番号）：特開2001-015563
出願日： 1999年07月02日
公開日（公表日）： 2001年01月19日
要約：
【要約】【課題】 プローブが破損しているDUTを容易に検知できる検査結果表示方法、検査結果表示装置及び記録媒体を提供する。【解決手段】 2つのプローバ装置10a、10bとワークステーション30とパソコン20とから構成され、ワークステーション30のROM36に記憶された表示プログラム及び表示モード切換プログラムに基いて、2つのプローバ装置10a、10bのそれぞれの検査結果をパソコン20のCRT22に、ウエハ基板上の位置に対応して表示すると共に、この半導体チップの検査結果と並列してDUTごとのPass/Fail比率を表示する。
請求項（抜粋）：
ウエハ基板に形成された複数の半導体チップのうち所定数の半導体チップを複数の検査部を備えたテスターにより個別に検査した検査結果に基いて、検査済みの半導体チップのウエハ基板上の位置に対応した検査結果を表す第1の情報と、前記複数の検査部の各々の検出結果を表す第2の情報との2種類の情報を同一画面上に表示する検査結果表示方法。
Fターム (8件)：
4M106AA01
, 4M106AA02
, 4M106BA01
, 4M106BA14
, 4M106DD18
, 4M106DD23
, 4M106DJ23
, 4M106DJ38
