特許
J-GLOBAL ID：200903073417360053

ターボ分子ポンプ

発明者：
山本 重一

山本 重一 について

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曽布川 拓司

曽布川 拓司 について

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宮本 松太郎

宮本 松太郎 について

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塩川 篤志

塩川 篤志 について


出願人/特許権者：
株式会社荏原製作所

株式会社荏原製作所 について


代理人 (1件)： 熊谷 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-118629
公開番号（公開出願番号）：特開2001-304173
出願日： 2000年04月19日
公開日（公表日）： 2001年10月31日
要約：
【要約】【課題】 ケーシングに設けられた吸気口を開閉自在に覆う弁体を有し、弁装置を含め全体をコンパクトに構成でき、しかも弁体の開閉に高い信頼性が得られる弁駆動機構を具備するターボ分子ポンプを提供すること。【解決手段】 ケーシング13内にロータRとステータSが収容され、これらのロータR及びステータSの間に排気流路が構成され、ケーシング13に設けられた吸気口14を開閉自在に覆う弁体15と、該弁体15を駆動する弁駆動機構を具備するターボ分子ポンプにおいて、弁駆動機構40は、少なくともロータに形成された貫通孔を挿通する弁棒30と、ボールねじ44及びボールねじナット46からなる昇降機構と、該昇降機構を駆動するサーボモータ43とから構成される。
請求項（抜粋）：
ケーシング内にロータとステータが収容され、これらのロータ及びステータの間に排気流路が構成され、前記ケーシングに設けられた吸気口を開閉自在に覆う弁体と、該弁体を駆動する弁駆動機構を具備するターボ分子ポンプにおいて、前記弁駆動機構は、少なくとも前記ロータに形成された貫通孔を挿通する弁体支持部材と、該弁体支持部材を昇降させるボールねじ及びボールねじナットからなる昇降機構と、該昇降機構を駆動するモータとから構成され、該弁体支持部材の他端に前記弁体の中心部が固着されていることを特徴とするターボ分子ポンプ。
IPC (2件)：
F04D 19/04 ,  F04D 27/00 101
FI (4件)：
F04D 19/04 G ,  F04D 19/04 A ,  F04D 19/04 H ,  F04D 27/00 101 E
Fターム (15件)：
3H021AA01 ,  3H021AA08 ,  3H021BA00 ,  3H021BA11 ,  3H021BA20 ,  3H021CA05 ,  3H021DA10 ,  3H021EA04 ,  3H031DA01 ,  3H031DA02 ,  3H031DA07 ,  3H031EA00 ,  3H031EA12 ,  3H031EA15 ,  3H031FA38
引用特許：
審査官引用 (7件)
  • ターボ分子ポンプ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-235438   出願人：株式会社荏原製作所
  • ターボ分子ポンプ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-052981   出願人：株式会社荏原製作所
  • 電動式調節弁駆動用リニアアクチュエータ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-018787   出願人：日本ベーレー株式会社
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