特許
J-GLOBAL ID：200903073913956012
大型基板搬送台車共通搬送室内回転搬送装置及び搬送方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 昌久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-366033
公開番号（公開出願番号）：特開2002-170861
出願日： 2000年11月30日
公開日（公表日）： 2002年06月14日
要約：
【要約】【課題】 複数の処理室に基板を次々に搬送して処理するクラスタ型真空処理システムにおいて、2基の搬送台車と回転台と回転台上に敷設された該搬送台車を載せる2組のレールと動力伝達機構と回転台回転モーターと搬送台車進退モーターとを備え、大型基板台車を真空に保たれた共通搬送室内で回転し、且つ真空に保たれた複数の室に進退させる回転搬送装置であって、モーター類が特殊仕様でなく且つ静止固定可能で、配線上、操作上の難点ない大型基板搬送台車共通搬送室内回転搬送装置および方法の提供をし、大形基板製造装置のコスト低減、大形基板製造における操作性の向上による更なる生産性の向上を目的とする。【解決手段】 回転台の下側に動力伝達機構収納部を設け、該収納部に収納された動力伝達機構の入力端がシール部を介して共通搬送室外に突出して共通搬送室の外部に配置した前記モーターと連結し、回転台回転と搬送台車進退を行なうよう構成した。
請求項（抜粋）：
複数の処理室に基板を次々に搬送して処理するクラスタ型真空処理システムにおいて、2基の搬送台車と回転台と回転台上に敷設された該搬送台車を載せる2組のレールと動力伝達機構と回転台回転モーターと搬送台車進退モーターとを備え、大型基板台車を真空に保たれた共通搬送室内で回転し、且つ真空に保たれた複数の室に進退させる回転搬送装置であって、回転台の下側に動力伝達機構収納部を設け、該収納部に収納された動力伝達機構の入力端がシール部を介して共通搬送室外に突出して共通搬送室の外部に配置した前記モーターと連結し、回転台回転と搬送台車進退を行うよう構成したことを特徴とする大型基板搬送台車共通搬送室内回転搬送装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, B65G 49/00
, B65G 49/06
, B65G 49/07
H01L 21/68 A
, B65G 49/00 A
, B65G 49/06 Z
, B65G 49/07 D
5F031CA02
, 5F031CA05
, 5F031GA58
, 5F031GA59
, 5F031LA07
, 5F031LA14
, 5F031MA04
, 5F031MA28
, 5F031MA29
, 5F031MA32
, 5F031NA05
, 5F031PA18
