研磨パッド用ドレッサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：杉岡幹二 , 穂上照忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-054390
公開番号（公開出願番号）：特開2007-229865
出願日： 2006年03月01日
公開日（公表日）： 2007年09月13日
要約：

【課題】研磨パッドの表面状態を精度良く、かつ安定的に調整可能な研磨パッド用ドレッサの提供【解決手段】セラミックス製の基体4にメタライズ層5を設け、メッキ6a、6bにより砥粒2を固着したことを特徴とする研磨パッド用ドレッサ。基体4を構成するセラミックスとしては、アルミナを用いることができる。また、メタライズ層5としては、Mo、Mn、W、Ni、Ag、Cu、Ti、NbおよびZrのうちから選択される1種以上の元素を用いることができる。砥粒2はダイヤモンド砥粒、メッキ6a、6bはNiメッキを用いることができる。【選択図】図3

請求項（抜粋）：