特許
J-GLOBAL ID：200903014993749601

研磨布用ドレッサー及びその製造方法

発明者：
鍋谷 忠克

鍋谷 忠克 について


出願人/特許権者：
株式会社リード

株式会社リード について


代理人 (3件)： 林 宏 ,  後藤 正彦 ,  林 直生樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-062594
公開番号（公開出願番号）：特開2005-288685
出願日： 2005年03月07日
公開日（公表日）： 2005年10月20日
要約：
【課題】 研磨布用ドレッサーが安定したドレッシング性を維持して、研磨布表面に均一な研磨面を創出し、特に脱粒に起因する研磨布によるウェハのスクラッチがなくなるようにした研磨布用ドレッサーおよびその製造方法を提供する。【解決手段】 台金1の表面にドレッシング部が形成されてなる研磨布用ドレッサーであって、そのドレッシング部は多数個の砥粒2とそれを保持する平板状の保持材3によって形成される。この保持材3が、超硬合金、サーメット、あるいはセラミックスのいずれか一種からなる。また、ケイ素を含む保持材3に、二酸化ケイ素を添加したものでもよい。さらに、上記研磨布用ドレッサーを製造する方法は、保持材表面またはその上に載置するシートに、規則的配列させる各砥粒2の保持位置に対応して、ほぼ砥粒径サイズの粘着部を設け、そこにそれぞれ砥粒2を粘着させた後上記保持材を焼結して砥粒を固定する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
台金の表面にドレッシング部が形成されてなる研磨布用ドレッサーであって、 前記ドレッシング部は多数個の砥粒とそれを保持する平板状の保持材によって形成され、該保持材が、周期律のIVa,Va,VIa族遷移金属、それらの酸化物、炭化物、窒化物、ホウ化物、及びこれらの複合化合物の1種又は2種以上の高融点高硬度物質と、Fe,Co,Ni,Cu,Ti,Cr,Agの1種又は2種以上の金属相とからなる超硬合金、サーメット、あるいは酸化物,炭化物,窒化物およびホウ化物の1種又は2種以上からなるセラミックスのいずれか一種を主成分とする、 ことを特徴とする研磨布用ドレッサー。
IPC (5件)：
B24B53/12 ,  B24D3/00 ,  B24D3/06 ,  B24D3/14 ,  B24D7/06
FI (8件)：
B24B53/12 Z ,  B24D3/00 310C ,  B24D3/00 330D ,  B24D3/00 340 ,  B24D3/00 350 ,  B24D3/06 Z ,  B24D3/14 ,  B24D7/06
Fターム (15件)：
3C047EE11 ,  3C047EE18 ,  3C047EE19 ,  3C063AA02 ,  3C063AB05 ,  3C063BA03 ,  3C063BB02 ,  3C063BB15 ,  3C063BB24 ,  3C063BC02 ,  3C063BC10 ,  3C063BF08 ,  3C063BF10 ,  3C063CC02 ,  3C063EE10
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (18件)
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