基板搬送装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-061902
公開番号（公開出願番号）：特開平11-251401
出願日： 1998年02月27日
公開日（公表日）： 1999年09月17日
要約：

【要約】【課題】基板のたわみ量がばらついても、基板受け渡し部との干渉による基板破損事故、装置故障または装置エラーを起こすことを防止する。【解決手段】基板を水平に搬送するハンドを持つ基板搬送装置において、搬送途中の基板のたわみに関する情報もしくは垂直位置を測定する手段を設け、この測定結果に基づいて搬送を安全に停止させるか、または基板受け渡し部の垂直位置を補正する。

請求項（抜粋）：

基板を水平に搬送する基板搬送装置において、搬送途中で基板のたわみに関する情報を得る手段と該情報に基づいて搬送動作を停止する、もしくは基板と基板受け渡し部との垂直方向の相対的な位置関係を調整する手段と、を設けたことを特徴とする基板搬送装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , B65G 49/07

FI (2件)：

H01L 21/68 A , B65G 49/07 D

引用特許：

審査官引用 (7件)

検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-043179 出願人：東京エレクトロン山梨株式会社
ウェハ搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-270305 出願人：東芝機械株式会社
ウエハ移載装置におけるウエハ高さ位置検出機構
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-086231 出願人：株式会社東芝

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