特許
J-GLOBAL ID：200903074420972724
基板把持装置及び研磨装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 勇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-031179
公開番号（公開出願番号）：特開2000-225559
出願日： 1999年02月09日
公開日（公表日）： 2000年08月15日
要約：
【要約】【課題】 基板の背圧や研磨境界面の温度の制御を、比較的簡単な構成でより厳密に行うことができるような基板把持装置を提供する。【解決手段】 基板Wの把持面を有する把持板12を備え、該基板把持面に弾性マット18を介して基板を保持し、該基板の被研磨面を研磨テーブルの研磨面に押し付ける基板把持装置において、該把持板の前記基板把持面には流体流通溝が設けられ、前記把持板には前記流体流通溝に連通する流体流路が形成されている。
請求項（抜粋）：
基板の把持面を有する把持板を備え、該基板把持面に弾性マットを介して基板を保持し、該基板の被研磨面を研磨テーブルの研磨面に押し付ける基板把持装置において、該把持板の前記基板把持面には流体流通溝が設けられ、前記把持板には前記流体流通溝に連通する流体流路が形成されていることを特徴とする基板把持装置。
Fターム (9件)：
3C058AA07
, 3C058AA12
, 3C058AB04
, 3C058AC04
, 3C058BA05
, 3C058BB04
, 3C058BC02
, 3C058CB05
, 3C058DA17
