特許
J-GLOBAL ID：200903074441436776

恒温真空容器及びそれを用いた露光装置

発明者：
江本 圭司

江本 圭司 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 藤元 亮輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-064199
公開番号（公開出願番号）：特開2004-273864
出願日： 2003年03月10日
公開日（公表日）： 2004年09月30日
要約：
【課題】減圧又は真空環境下で排気や収納されている対象物の交換等に伴う対象物の温度変化をより効果的に防止する恒温真空容器及びそれを利用する露光装置を提供する。【解決手段】対象物を収納し、減圧又は真空環境において前記対象物の温度を一定に保つための恒温真空容器であって、当該恒温真空容器内の少なくとも一部に設けられた温度調節板と、当該温度調節板を温度調節するための温度調節機構とを有することを特徴とする恒温真空容器を提供する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
対象物を収納し、減圧又は真空環境において前記対象物の温度を一定に保つための恒温真空容器であって、 当該恒温真空容器内の少なくとも一部に設けられた温度調節部材と、 当該温度調節部材を温度調節するための温度調節機構とを有することを特徴とする恒温真空容器。
IPC (2件)：
H01L21/027 ,  G03F7/20
FI (4件)：
H01L21/30 517 ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 531A ,  H01L21/30 541G
Fターム (14件)：
5F046AA22 ,  5F046BA05 ,  5F046CA08 ,  5F046CB02 ,  5F046CB03 ,  5F046CB20 ,  5F046DA04 ,  5F046DA26 ,  5F046GA03 ,  5F046GA07 ,  5F046GA14 ,  5F046GA20 ,  5F056CB40 ,  5F056EA11
引用特許：
審査官引用 (5件)
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