特許
J-GLOBAL ID：200903074661398123
反射型液晶表示素子とその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 兼行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-145442
公開番号（公開出願番号）：特開2007-316305
出願日： 2006年05月25日
公開日（公表日）： 2007年12月06日
要約：
【課題】従来は液晶表示素子の反射電極をスパッタによるアルミニウムで構成すると、ショートが発生しないよう、反射電極の間隙はアルミニウムの成膜で発生するグレイン以下の間隙に作成することができず、また、微細な反射電極間隙を制御するのは難しい。【解決手段】反射電極51は、第3層間膜29上に形成されたチタン膜による反射電極チタン511と、反射電極チタン511上に形成されたアルミニウム膜である反射電極アルミ512とで構成されている。反射電極アルミ512の側壁は反射電極チタン511の側壁よりも水平方向に後退している。また、反射電極アルミ512の間隙b内の側壁のみに、間隙形成用酸化膜513によるサイドウォールが形成されており、反射電極チタン511の側壁にはサイドウォールは形成されていない。これにより、反射電極面積が大きくなるため反射率が向上し、プロジェクタとしての明るさやコントラストが向上する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
入射する光を反射する反射電極と、該反射電極に接続されたスイッチング用画素トランジスタと、該画素トランジスタに接続された保持容量とからなる画素が、複数規則的に第1の基板上に配列されており、前記反射電極と前記画素トランジスタとの間には絶縁膜を介して遮光膜が形成されると共に、前記第1の基板上の複数の反射電極に共通して対向するように対向電極が透明な第2の基板上に形成され、前記第1及び第2の基板の間には液晶が封入されており、前記複数の画素トランジスタを順次駆動して、その画素トランジスタに接続された前記保持容量に映像信号を電荷として保持させることで、その画素トランジスタに接続された反射電極と前記対向電極との間の前記液晶の配向を反射電極単位で制御し、前記第2の基板上の前記対向電極及び前記液晶を透過して前記反射電極に入射して反射し、前記液晶及び前記対向電極を透過して外部へ出射する光を前記反射電極単位で変調する反射型液晶表示素子において、
前記反射電極は、
平面形状が一画素の大きさに対応した矩形形状に形成された第1の導電膜と、
前記第1の導電膜に対して光入射側に積層されており、該第1の導電膜と反射率が異なり、かつ、該第1の導電膜の矩形領域内に形成された平面形状が矩形形状の第2の導電膜と
より構成されていることを特徴とする反射型液晶表示素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (19件)：
2H092GA17
, 2H092GA59
, 2H092HA05
, 2H092JA23
, 2H092JB07
, 2H092JB54
, 2H092JB57
, 2H092JB65
, 2H092JB66
, 2H092JB69
, 2H092KA03
, 2H092KB13
, 2H092MA15
, 2H092MA18
, 2H092MA37
, 2H092NA07
, 2H092NA16
, 2H092NA27
, 2H092PA12
出願人引用 (1件)
審査官引用 (6件)
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