特許
J-GLOBAL ID:200903075509238940

半導体装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 佐藤 一雄 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-047928
公開番号(公開出願番号):特開平10-242472
出願日: 1997年03月03日
公開日(公表日): 1998年09月11日
要約:
【要約】【課題】 デュアルゲートトランジスタにおいてオン、オフのしきい値差を大きくし、しきい値自体を小さくする。【解決手段】 半導体基板上に互いに分離された状態にNMOSトランジスタ及びPMOSトランジスタがデュアルゲートトランジスタとして形成されており、これらNMSO及びPMOSトランジスタのそれぞれは、不純物のドープによってチャネルの下方に形成された高濃度領域と、不純物のカウンタードープによってチャネル部分に形成された低濃度領域とを有し、これらの高濃度及び低濃度領域によってオン、オフ時のしきい値の差としきい値自体とが規定される。
請求項(抜粋):
半導体基板上に互いに分離された状態にNMOSトランジスタ及びPMOSトランジスタがデュアルゲートトランジスタとして形成されており、これらNMSO及びPMOSトランジスタのそれぞれは、不純物のドープによってチャネルの下方に形成された高濃度領域と、不純物のカウンタードープによってチャネル部分に形成された低濃度領域とを有し、これらの高濃度及び低濃度領域によってオン、オフ時のしきい値の差としきい値自体とが規定される半導体装置。
IPC (5件):
H01L 29/786 ,  H01L 21/265 ,  H01L 21/8238 ,  H01L 27/092 ,  H01L 27/08 331
FI (5件):
H01L 29/78 613 A ,  H01L 27/08 331 E ,  H01L 21/265 F ,  H01L 27/08 321 C ,  H01L 29/78 618 F
引用特許:
審査官引用 (10件)
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