特許
J-GLOBAL ID：200903075516211330

新規スルホニルジアゾメタン化合物及びレジスト材料用の光酸発生剤

発明者：
大澤 洋一

大澤 洋一 について

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渡辺 淳

渡辺 淳 について

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関 明寛

関 明寛 について

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竹村 勝也

竹村 勝也 について

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名倉 茂広

名倉 茂広 について


出願人/特許権者：
信越化学工業株式会社

信越化学工業株式会社 について


代理人 (1件)： 小島 隆司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-285442
公開番号（公開出願番号）：特開2001-106669
出願日： 1999年10月06日
公開日（公表日）： 2001年04月17日
要約：
【要約】【解決手段】 下記一般式(1)で示されるスルホニルジアゾメタン化合物。【化1】(R1は炭素数1〜10のアルキル基、あるいは炭素数6〜14のアリール基を示す。R2は炭素数1〜6のアルキル基を示す。GはSO2又はCOを示し、R3は炭素数1〜10のアルキル基、あるいは炭素数6〜14のアリール基を示す。pは0〜4の整数、qは1〜5の整数であり、1≦p+q≦5である。nは1又は2であり、mは0又は1である。また、n+m=2である。)【効果】 本発明の一般式(1)あるいは(1a)で示されるスルホニルジアゾメタンは、化学増幅型レジスト材料の光酸発生剤として好適に用いることができ、分子内にカルボン酸エステル基を含有することより、解像性、焦点余裕度に優れ、PEDが長時間にわたる場合にも線幅変動、形状劣化が少なく、更に塗布後、現像後、剥離後の異物が少なく、現像後のパターンプロファイル形状に優れ、微細加工に適した高解像性を有し、特に遠紫外リソグラフィーにおいて大いに威力を発揮する。
請求項（抜粋）：
下記一般式(1)で示されるスルホニルジアゾメタン化合物。【化1】(式中R1は炭素数1〜10の直鎖状、分岐状又は環状の置換もしくは非置換のアルキル基、あるいは炭素数6〜14の置換もしくは非置換のアリール基を示す。R2は同一でも異なってもよく、炭素数1〜6の直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基を示す。GはSO2又はCOを示し、R3は炭素数1〜10の直鎖状、分岐状又は環状の置換もしくは非置換のアルキル基、あるいは炭素数6〜14の置換もしくは非置換のアリール基を示す。pは0〜4の整数、qは1〜5の整数であり、1≦p+q≦5である。nは1又は2であり、mは0又は1である。また、n+m=2である。)
IPC (5件)：
C07C317/28 ,  C07C381/14 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027
FI (5件)：
C07C317/28 ,  C07C381/14 ,  G03F 7/004 503 A ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/30 502 R
Fターム (17件)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AA09 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025CB17 ,  2H025CB41 ,  4H006AA01 ,  4H006AB76 ,  4H006BT16 ,  4H006TA02 ,  4H006TB42
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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