高速凹凸判定可能な表面検査方法及び表面検査システム

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：鈴木崇生 , 梶崎弘一 , 尾崎雄三 , 谷口俊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-108907
公開番号（公開出願番号）：特開2004-317190
出願日： 2003年04月14日
公開日（公表日）： 2004年11月11日
要約：

【課題】平面を有する被検査材の表面検査を行うに際して、検出された異常部の凹凸情報も含めて検出することのできる表面検査方法を提供すること。【解決手段】多結晶体ウェハの表面に散在する異常部(ボイド・コンタミ)を検査する表面検査方法であって、低倍率対物レンズを用いて、ウェハの表面の検査領域内を走査させ、検査領域部分の低倍率検査画像の多数を順次取得するステップと、低倍率検査画像を画像処理することで、異常部を検出し、その位置を演算・記憶するステップと、高倍率対物レンズを用いて、異常部の位置において、対物距離を変えつつ、検査領域部分の高倍率検査画像を複数取得するステップと、複数の高倍率検査画像に基づいて、正常領域の高さ方向の位置と、異常領域の高さ方向の位置とを求め、異常領域が凹(ボイド)であるか凸(コンタミ)であるかを判定するステップとを有する。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

被検査材の表面に散在する異常部を検査する表面検査方法であって、低倍率対物レンズを用いて、被検査材の表面の検査領域内を走査させ、検査領域部分の低倍率検査画像を取得するステップと、前記低倍率検査画像を画像処理することで、異常部を検出し、その位置を演算・記憶するステップと、高倍率対物レンズを用いて、前記記憶された異常部の位置において、対物距離を変えつつ、検査領域部分の高倍率検査画像を複数取得するステップと、前記複数の高倍率検査画像に基づいて、正常領域の高さ方向の位置と、異常領域の高さ方向の位置とを求め、これらの位置情報から異常領域が凹であるか凸であるかを判定するステップとを有することを特徴とする平面を有する高速凹凸判定可能な表面検査方法。

IPC (5件)：

G01N21/956 , G01B11/02 , G01B11/30 , G06T1/00 , H01L21/66

FI (5件)：

G01N21/956 A , G01B11/02 H , G01B11/30 A , G06T1/00 305A , H01L21/66 J

Fターム (59件)：

2F065AA06 , 2F065AA24 , 2F065AA49 , 2F065AA51 , 2F065BB01 , 2F065CC19 , 2F065DD11 , 2F065FF04 , 2F065FF10 , 2F065FF41 , 2F065GG04 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065LL65 , 2F065MM15 , 2F065MM16 , 2F065MM25 , 2F065MM26 , 2F065MM28 , 2F065PP02 , 2F065PP12 , 2F065QQ08 , 2F065QQ21 , 2F065QQ24 , 2F065QQ25 , 2F065QQ28 , 2F065QQ31 , 2F065QQ43 , 2F065SS02 , 2F065SS13 , 2G051AA51 , 2G051AB02 , 2G051AB20 , 2G051AC02 , 2G051BC04 , 2G051CA04 , 2G051DA07 , 2G051DA15 , 2G051EA11 , 2G051EA16 , 2G051EB01 , 2G051EC02 , 2G051ED03 , 2G051ED08 , 2G051ED11 , 2G051ED21 , 4M106AA01 , 4M106BA05 , 4M106CA41 , 4M106DB21 , 5B057AA03 , 5B057BA02 , 5B057CA12 , 5B057CA16 , 5B057DA03 , 5B057DB02 , 5B057DC06 , 5B057DC23 , 5B057DC32

引用特許：

審査官引用 (6件)

基板外観検査装置及び方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-051436 出願人：花王株式会社
画像処理方法及び画像処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-145578 出願人：株式会社アドバンテスト
欠陥検査方法およびその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-181056 出願人：株式会社日立製作所

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