特許
J-GLOBAL ID:200903076040216580

マイクロバルブ、マイクロポンプ及びこれらを内蔵するマイクロチップ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 梶山 佶是 ,  山本 富士男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-158576
公開番号(公開出願番号):特開2005-337415
出願日: 2004年05月28日
公開日(公表日): 2005年12月08日
要約:
【課題】 マイクロチップの製作と同時に、安価で容易に作製できるマイクロバルブ及びマイクロポンプを提供する。【解決手段】 マイクロバルブであって、該マイクロバルブは基板と、該基板上面に貼り合わされた第1層と、該第1層上面に貼り合わされた第2層とからなり、前記第1層の前記基板との貼り合わせ面側に、第1の流路と該第1の流路に連通する第1のバルブ室と、第2の流路と、該第2の流路に連通する第2のバルブ室と、前記第1のバルブ室と第2のバルブ室とを仕切る弁を有し、前記弁の弁座が前記基板表面に対して非接着に維持されており、前記第2層の前記第1層との貼り合わせ面側であって、前記弁の直上に対応する位置に圧力室を有することを特徴とするマイクロバルブ。このマイクロバルブを2個以上適宜組み合わせることによりマイクロポンプを構成することができる。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
マイクロバルブであって、該マイクロバルブは基板と、該基板上面に貼り合わされた第1層と、該第1層上面に貼り合わされた第2層とからなり、 前記第1層の前記基板との貼り合わせ面側に、第1の流路と該第1の流路に連通する第1のバルブ室と、第2の流路と、該第2の流路に連通する第2のバルブ室と、前記第1のバルブ室と第2のバルブ室とを仕切る弁を有し、前記弁の弁座が前記基板表面に対して非接着に維持されており、 前記第2層の前記第1層との貼り合わせ面側であって、前記弁の直上に対応する位置に圧力室を有することを特徴とするマイクロバルブ。
IPC (5件):
F16K7/17 ,  B81B3/00 ,  F04B43/04 ,  F04B43/06 ,  F16K15/14
FI (6件):
F16K7/17 B ,  F16K7/17 C ,  B81B3/00 ,  F04B43/04 B ,  F16K15/14 D ,  F04B43/06 A
Fターム (34件):
3H058AA02 ,  3H058BB11 ,  3H058BB28 ,  3H058BB29 ,  3H058CA16 ,  3H058CA23 ,  3H058CB14 ,  3H058CB15 ,  3H058CB18 ,  3H058CC01 ,  3H058CC14 ,  3H058CC17 ,  3H058CD09 ,  3H058CD10 ,  3H058DD04 ,  3H058DD11 ,  3H058DD17 ,  3H058EE01 ,  3H058EE10 ,  3H058EE20 ,  3H077AA00 ,  3H077CC02 ,  3H077CC06 ,  3H077CC16 ,  3H077DD06 ,  3H077DD13 ,  3H077EE34 ,  3H077EE36 ,  3H077FF01 ,  3H077FF06 ,  3H077FF12 ,  3H077FF22 ,  3H077FF36 ,  3H077FF45
引用特許:
出願人引用 (13件)
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審査官引用 (8件)
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