特許
J-GLOBAL ID：200903076059085591
ポリシロキサンおよび感放射線性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
福沢 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-273289
公開番号（公開出願番号）：特開2005-029742
出願日： 2003年07月11日
公開日（公表日）： 2005年02月03日
要約：
【課題】 波長200nm以下の放射線に対する透明性が高く、解像度、塗布性等に優れたレジストの樹脂成分等として有用な、含フッ素ノルボルナン骨格を有する新規ポリシロキサン、並びに該ポリシロキサンを含有する感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 ポリシロキサンは下記式(I)で表される構造単位および下記式(II)で表される構造単位の少なくとも1種と、下記式(III)で表される構造単位および下記式(IV)で表される構造単位の少なくとも1種とを有する。 【化1】 【化2】(X1 およびX2 は水素原子、1価の(ハロゲン化)炭化水素基、ハロゲン原子またはアミノ基、Bは水素原子またはフッ素原子、nおよびmは0または1、pは1〜10の整数を示す。) 感放射線性樹脂組成物は該ポリシロキサンおよび感放射線性酸発生剤を含有する。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
下記式(I)で表される構造単位および下記式(II)で表される構造単位の群から選ばれる少なくとも1種と、下記式(III)で表される構造単位および下記式(IV)で表される構造単位の群から選ばれる少なくとも1種とを有する、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ(GPC)によるポリスチレン換算重量平均分子量が500〜1,000,000のポリシロキサン。
IPC (3件)：
C08G77/24
, G03F7/075
, H01L21/027
C08G77/24
, G03F7/075 501
, G03F7/075 511
, H01L21/30 502R
2H025AA01
, 2H025AA02
, 2H025AA03
, 2H025AA09
, 2H025AB16
, 2H025AC04
, 2H025AC08
, 2H025AD03
, 2H025BE00
, 2H025BE10
, 2H025BG00
, 2H025CB33
, 2H025CB41
, 2H025CB45
, 2H025FA41
, 4J246AA03
, 4J246BA12X
, 4J246BA120
, 4J246BA340
, 4J246BB020
, 4J246BB022
, 4J246CA01X
, 4J246CA04X
, 4J246CA040
, 4J246CA050
, 4J246CA080
, 4J246CA230
, 4J246CA240
, 4J246CA250
, 4J246CA420
, 4J246CA450
, 4J246CA46X
, 4J246CA460
, 4J246CA47X
, 4J246CA470
, 4J246CA53X
, 4J246CA530
, 4J246CA56X
, 4J246CA63X
, 4J246FB081
, 4J246FB191
, 4J246FB271
, 4J246GA01
, 4J246GC26
, 4J246HA15
